徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: [富永 喜久雄]/Kataoka Masahiro/Ueda Tetsuya/[新谷 義廣]/Mori Ichiro/Preparation of Conductive ZnO:Al Films by a Facing Target System with a Strong Magnetic Field/[Thin Solid Films]

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EID
85954
EOID
707168
Map
0
LastModified
2013年8月26日(月) 17:06:07
Operator
三木 ちひろ
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TRUE
Censor
0
Owner
[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]
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種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Kataoka Masahiro
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Ueda Tetsuya
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. 新谷 義廣
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  5. (英) Mori Ichiro
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Preparation of Conductive ZnO:Al Films by a Facing Target System with a Strong Magnetic Field

副題 任意
要約 任意

(日) 本論文は,光エレクトロニクス分野での透明電極用のアルミに有無添加酸化亜鉛膜の低抵抗化において,プラズマと基板の分離を完全にするため,津様磁界によりプラズマの閉じ込めを図って膜をさくせいし,種々の要因について検討したものである.残留水分と300℃以上の基板温度がキャリア密度の減少を引き起こす.逆に,亜鉛原子の過剰供給がキャリア密度の増大を引き起こすことをはじめて見出した.

キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 Thin Solid Films([Elsevier])
(resolved by 0040-6090)
ISSN: 0040-6090 (pISSN: 0040-6090)
Title: Thin solid films
Title(ISO): Thin Solid Films
Publisher: Elsevier Sequoia
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
ISSN 任意
必須 253
必須 ---
必須 9 13
都市 任意
年月日 必須 1994年 0月 初日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意