徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: [富永 喜久雄]/Chong Munfei/[新谷 義廣]/Energetic Particles in the Sputtering of an Indium-tin Oxide Target/[Journal of Vacuum Science & Technology A]

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EID
85951
EOID
707169
Map
0
LastModified
2013年8月26日(月) 17:06:07
Operator
三木 ちひろ
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TRUE
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0
Owner
[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]
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種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Chong Munfei
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. 新谷 義廣
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Energetic Particles in the Sputtering of an Indium-tin Oxide Target

副題 任意
要約 任意

(日) 本論文は,透明導電膜であるITO(Indium Tin Oxide)スパッタ膜作製時に発生する高速酸素負イオンや高速中性酸素原子などの粒子を実際にはじめて観測し,酸化亜鉛膜作製での電気特性の結果と高速酸素イオン束の強度を比較したものである.ITOでもかなり強い高速酸素負イオンが発生しており,このことがこれまで報告されてきた抵抗率の空間分布異常と関連があることを示した.ITOの場合,酸化亜鉛ターゲットと異なり,かなりな反跳アルゴンも観測された.

キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 Journal of Vacuum Science & Technology A(American Vacuum Society/[American Institute of Physics])
(resolved by 0734-2101)
ISSN: 0734-2101 (pISSN: 0734-2101, eISSN: 1520-8559)
Title: Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films : an official journal of the American Vacuum Society
Title(ISO): J Vac Sci Technol A
Publisher: American Institute of Physics
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
(resolved by 1520-8559)
ISSN: 0734-2101 (pISSN: 0734-2101, eISSN: 1520-8559)
Title: Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films : an official journal of the American Vacuum Society
Title(ISO): J Vac Sci Technol A
Publisher: American Institute of Physics
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
ISSN 任意
必須 12
必須 4
必須 1435 1438
都市 任意
年月日 必須 1994年 4月 初日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意