徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: [富永 喜久雄]/Imai Hiroshi/Sueyoshi Yasuhiko/Influence of Plasma Exposure on AlN Films in the Preparation by Facing Targets Sputtering System/[Surface & Coatings Technology]

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EID
85932
EOID
707158
Map
0
LastModified
2013年8月26日(月) 16:31:49
Operator
三木 ちひろ
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TRUE
Censor
0
Owner
[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]
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種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Imai Hiroshi
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Sueyoshi Yasuhiko
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Influence of Plasma Exposure on AlN Films in the Preparation by Facing Targets Sputtering System

副題 任意
要約 任意

(日) 本論文は,窒化アルミニウム膜をAr+N2(50%/50%)中でスパッタすると,0.01Torr以下では,膜の圧電特性の度合いを決めるc軸配向度が低下し,光透過率が吸収端付近で低下する.組成もかなり窒素過剰になり,c軸方向への結晶軸が歪むことをしめし,これがイオン照射の影響であることを示した.基板前に,接地した網電極を置くことで,イオン照射のない状態がえられることを,膜作製とその膜評価から証明した.

キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 Surface & Coatings Technology([Elsevier])
(resolved by 0257-8972)
ISSN: 0257-8972 (pISSN: 0257-8972, eISSN: 1879-3347)
Title: Surface & coatings technology
Title(ISO): Surf Coat Technol
Publisher: Elsevier BV
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
(resolved by 1879-3347)
ISSN: 0257-8972 (pISSN: 0257-8972, eISSN: 1879-3347)
Title: Surface & coatings technology
Title(ISO): Surf Coat Technol
Publisher: Elsevier BV
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
ISSN 任意
必須 61
必須 ---
必須 182 186
都市 任意
年月日 必須 1993年 0月 初日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意