徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

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著作: [富永 喜久雄]/Sueyoshi Yasuhiko/Imai Hiroshi/Chong Munfei/[新谷 義廣]/Simultaneous Measurements of Energetic O- Ions and O Atoms in Sputtering of Zincoxide Target/[Japanese Journal of Applied Physics]

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EID
85931
EOID
707163
Map
0
LastModified
2013年8月26日(月) 16:31:49
Operator
三木 ちひろ
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]
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種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Sueyoshi Yasuhiko
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Imai Hiroshi
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. (英) Chong Munfei
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  5. 新谷 義廣
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Simultaneous Measurements of Energetic O- Ions and O Atoms in Sputtering of Zincoxide Target

副題 任意
要約 任意

(日) 本論文は,スパッタリングにおいて発生する高速酸素イオンと中性原子を分離して測定して,それを理論式と比較することで,各々の粒子のアルゴンと酸素分子との衝突断面積を評価し,衝突機構について検討したものである.高速酸素負イオンはアルゴン中では衝突に際し電荷交換はしないが,酸素ガス中では自身の電荷を酸素分子にわたす電荷交換衝突が主であることを解析により示した.

キーワード 推奨
  1. (英) energetic oxygen ions
  2. (英) energetic neutral oxygen atoms
  3. (英) time-of-flight method
  4. (英) planar magnetron sputtering
発行所 推奨 応用物理学会
誌名 必須 Japanese Journal of Applied Physics([応用物理学会])
(pISSN: 0021-4922, eISSN: 1347-4065)
ISSN 任意 0021-4922
ISSN: 0021-4922 (pISSN: 0021-4922, eISSN: 1347-4065)
Title: Japanese journal of applied physics (2008)
Title(ISO): Jpn J Appl Phys (2008)
Supplier: 社団法人応用物理学会
Publisher: Japan Society of Applied Physics
 (NLM Catalog  (Webcat Plus  (Webcat Plus  (Webcat Plus  (Scopus  (Scopus  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
必須 32
必須 10
必須 4745 4749
都市 任意
年月日 必須 1993年 10月 15日
URL 任意 http://ci.nii.ac.jp/naid/110003899855/
DOI 任意 10.1143/JJAP.32.4745    (→Scopusで検索)
PMID 任意
NAID 任意 110003899855
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意