徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

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著作: [富永 喜久雄]/Imai Hiroshi/Sueyoshi Yasuhiko/Shirai Masaki/Planar Magnetron Sputtering System with Obliquely Facing Targets/[Surface & Coatings Technology]

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EID
85927
EOID
707142
Map
0
LastModified
2013年8月26日(月) 15:50:58
Operator
三木 ちひろ
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]
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種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Imai Hiroshi
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Sueyoshi Yasuhiko
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. (英) Shirai Masaki
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Planar Magnetron Sputtering System with Obliquely Facing Targets

副題 任意
要約 任意

(日) 本論文では,酸化亜鉛と窒化アルミニウムを同一の斜め対向ターゲット式スパッタ法で作製して,その巻く特性の劣化機構の差異について検討した.これまで2通りの意見が提案されていたが,本研究の結果は,酸化亜鉛では高速酸素負イオンや高速酸素原子の影響が大きく,窒化アルミニウムでは基板にが負に帯電することによるプラズマからの窒素イオンやアルゴンイオンによる膜衝撃の影響がおおきいことを示した.

キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 Surface & Coatings Technology([Elsevier])
(resolved by 0257-8972)
ISSN: 0257-8972 (pISSN: 0257-8972, eISSN: 1879-3347)
Title: Surface & coatings technology
Title(ISO): Surf Coat Technol
Publisher: Elsevier BV
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
(resolved by 1879-3347)
ISSN: 0257-8972 (pISSN: 0257-8972, eISSN: 1879-3347)
Title: Surface & coatings technology
Title(ISO): Surf Coat Technol
Publisher: Elsevier BV
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
ISSN 任意
必須 54/55
必須 ---
必須 143 147
都市 任意
年月日 必須 1992年 0月 初日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意