徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

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著作: [富永 喜久雄]/Preparation of AlN Films by Planar Magnetron Sputtering System with Facing Two Targets/[Vacuum]

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EID
85828
EOID
707136
Map
0
LastModified
2013年8月26日(月) 15:50:58
Operator
三木 ちひろ
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]
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種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意

    (日) テーマの設定,実験計画と膜作製,評価,論文執筆

    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Preparation of AlN Films by Planar Magnetron Sputtering System with Facing Two Targets

副題 任意
要約 任意

(日) N2 ガス中でAlをスパッタしてAlN膜を作製した.装置として,対向ターゲット式プレーナマグネトロンスパッタ法を用いた.5x10-4Torrの低ガス圧でスパッタが可能であり,ガラス基板上に250℃でc軸が基板面に垂直に配向したAlN多結晶膜が作製できることを示した.50度の基板温度でも,幾分配向度は劣るが,やはりAlN膜が得られた.

キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 Vacuum([Elsevier Science])
(resolved by 0042-207X)
ISSN: 0042-207X (pISSN: 0042-207X, eISSN: 1879-2715)
Title: Vacuum
Title(ISO): Vacuum
Publisher: Elsevier Ltd.
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
(resolved by 1879-2715)
ISSN: 0042-207X (pISSN: 0042-207X, eISSN: 1879-2715)
Title: Vacuum
Title(ISO): Vacuum
Publisher: Elsevier Ltd.
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
ISSN 任意
必須 41
必須 4-6
必須 1154 1156
都市 任意
年月日 必須 1990年 0月 初日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意