徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

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著作: [富永 喜久雄]/RFスパッタリングにおける高速粒子のTime-of-flight法による観測/アイオニクス

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EID
85822
EOID
707119
Map
0
LastModified
2013年8月26日(月) 15:02:52
Operator
三木 ちひろ
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]
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種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意

    (日) テーマの設定,実験計画,実施,論文執筆

    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(日) RFスパッタリングにおける高速粒子のTime-of-flight法による観測

副題 任意
要約 任意

(日) 本論文は,スパッタリングの分野で膜特性の低下を引き起こす高速粒子を飛行時間測定法(Time of flight 法)により観測する方法について述べ,とくにRFとDCの両方のスパッタリングにおける高速中性粒子の評価を行った.この結果か解析することで,高速酸素のもつ影響はRFスパッタリング とDCスパッタリングでは大差ないことがわかった.RFで特徴的なのは高速O2分子がかなり観測された.まくを衝撃している高速粒子の全エネルギーの20-30%になる.このことはRFスパッタリングではO2が負イオンになりやすいことを意味している.

キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 (日) アイオニクス
ISSN 任意
必須 15
必須 10
必須 55 60
都市 任意
年月日 必須 1986年 10月 初日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意