徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

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著作: [富永 喜久雄]/Yuasa Takayuki/Kuroda Kenji/Tada Osamu/Energetic Oxygen Atoms in RF Sputtering of ZnO/[Japanese Journal of Applied Physics]

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EID
85809
EOID
707122
Map
0
LastModified
2013年8月26日(月) 15:02:52
Operator
三木 ちひろ
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]
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種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Yuasa Takayuki
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Kuroda Kenji
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. (英) Tada Osamu
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Energetic Oxygen Atoms in RF Sputtering of ZnO

副題 任意
要約 任意

(日) 本論文は,高周波(RF,13.56 MHz)プレーナマグネトロンスパッタ法および2極スパッタ法による圧電性酸化亜鉛薄膜作製において,膜を衝撃している高速酸素原子束を飛行時間法プローブにより測定し,酸素原子の総量のガス圧依存性を評価した.また,酸素原子のみならず,高速酸素分子も少なからず存在することもわかった.著者の開発したプローブがスパッタプロセス時のプラズマ状態の測定に有用であることを示した.

キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 Japanese Journal of Applied Physics([応用物理学会])
(resolved by 0021-4922)
ISSN: 0021-4922 (pISSN: 0021-4922, eISSN: 1347-4065)
Title: Japanese journal of applied physics (2008)
Title(ISO): Jpn J Appl Phys (2008)
Supplier: 社団法人応用物理学会
Publisher: Japan Society of Applied Physics
 (NLM Catalog  (Webcat Plus  (Webcat Plus  (Webcat Plus  (Scopus  (Scopus  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
(resolved by 1347-4065)
ISSN: 0021-4922 (pISSN: 0021-4922, eISSN: 1347-4065)
Title: Japanese journal of applied physics (2008)
Title(ISO): Jpn J Appl Phys (2008)
Supplier: 社団法人応用物理学会
Publisher: Japan Society of Applied Physics
 (NLM Catalog  (Webcat Plus  (Webcat Plus  (Webcat Plus  (Scopus  (Scopus  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
ISSN 任意
必須 26
必須 Suppl.26-2
必須 22 25
都市 任意
年月日 必須 1987年 10月 初日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意