徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

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著作: [富永 喜久雄]/Yuasa Takayuki/Kume Michiya/Tada Osamu/Influence of Energetic Oxygen Bombardment on Conductive ZnO Films/[Japanese Journal of Applied Physics]

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EID
85799
EOID
707117
Map
0
LastModified
2013年8月26日(月) 15:02:52
Operator
三木 ちひろ
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TRUE
Censor
0
Owner
[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]
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種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Yuasa Takayuki
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Kume Michiya
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. (英) Tada Osamu
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Influence of Energetic Oxygen Bombardment on Conductive ZnO Films

副題 任意
要約 任意

(日) 本論文は,光電子工学素子中の透明電極としての応用が期待されている導電性酸化亜鉛薄膜をスパッタ法により作製する際に,高速酸素原子による膜衝撃が膜の導電率を極端に小さくすることを証明したものである.また,ホール電圧等の測定から,膜中のキャリア電子密度や移動度に及ぼす酸素原子衝撃の影響も評価した.

キーワード 推奨
発行所 推奨 応用物理学会
誌名 必須 Japanese Journal of Applied Physics([応用物理学会])
(pISSN: 0021-4922, eISSN: 1347-4065)
ISSN 任意 0021-4922
ISSN: 0021-4922 (pISSN: 0021-4922, eISSN: 1347-4065)
Title: Japanese journal of applied physics (2008)
Title(ISO): Jpn J Appl Phys (2008)
Supplier: 社団法人応用物理学会
Publisher: Japan Society of Applied Physics
 (NLM Catalog  (Webcat Plus  (Webcat Plus  (Webcat Plus  (Scopus  (Scopus  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
必須 24
必須 8
必須 944 949
都市 任意
年月日 必須 1985年 8月 20日
URL 任意 http://ci.nii.ac.jp/naid/110003910541/
DOI 任意 10.1143/JJAP.24.944    (→Scopusで検索)
PMID 任意
NAID 任意 110003910541
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意