徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

徳島大学ウェブサイトへのリンク

著作: [富永 喜久雄]/Kume Michiya/Yuasa Takayuki/Tada Osamu/Energy Distribution of Energetic Oxygen Atoms in the Sputtering of ZnO/[Japanese Journal of Applied Physics]

ヘルプを読む

「著作」(著作(著書,論文,レター,国際会議など))は,研究業績にかかる著作(著書,論文,レター,国際会議など)を登録するテーブルです. (この情報が属するテーブルの詳細な定義を見る)

  • 項目名の部分にマウスカーソルを置いて少し待つと,項目の簡単な説明がツールチップ表示されます.

この情報をEDB閲覧画面で開く

EID
85790
EOID
707116
Map
0
LastModified
2013年8月26日(月) 15:02:52
Operator
三木 ちひろ
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]
Read
継承
Write
継承
Delete
継承
種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Kume Michiya
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Yuasa Takayuki
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. (英) Tada Osamu
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Energy Distribution of Energetic Oxygen Atoms in the Sputtering of ZnO

副題 任意
要約 任意

(日) 本論文は,良質の圧電性酸化亜鉛多結晶薄膜作製の際に問題となる高速酸素原子束に冠する研究の一環として,飛行時間法によるプローブ信号を高速フーリエ変換によりコンピュータ処理することにより,直流2極スパッタリングにおける膜作製時の高速酸素原子束のエネルギー分布を評価したものである.

キーワード 推奨
発行所 推奨 応用物理学会
誌名 必須 Japanese Journal of Applied Physics([応用物理学会])
(pISSN: 0021-4922, eISSN: 1347-4065)
ISSN 任意 0021-4922
ISSN: 0021-4922 (pISSN: 0021-4922, eISSN: 1347-4065)
Title: Japanese journal of applied physics (2008)
Title(ISO): Jpn J Appl Phys (2008)
Supplier: 社団法人応用物理学会
Publisher: Japan Society of Applied Physics
 (NLM Catalog  (Webcat Plus  (Webcat Plus  (Webcat Plus  (Scopus  (Scopus  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
必須 24
必須 1
必須 35 39
都市 任意
年月日 必須 1985年 1月 20日
URL 任意 http://ci.nii.ac.jp/naid/110003910267/
DOI 任意 10.1143/JJAP.24.35    (→Scopusで検索)
PMID 任意
NAID 任意 110003910267
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意