徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

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著作: [富永 喜久雄]/Iwamura Satoshi/Fujita Iwao/[新谷 義廣]/Tada Osamu/Influence of Bombardment by Energetic Atoms on c-Axis Orientation of ZnO Films/[Japanese Journal of Applied Physics]

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EID
85773
EOID
707096
Map
0
LastModified
2013年8月26日(月) 13:58:16
Operator
三木 ちひろ
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]
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種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Iwamura Satoshi
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Fujita Iwao
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. 新谷 義廣
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  5. (英) Tada Osamu
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Influence of Bombardment by Energetic Atoms on c-Axis Orientation of ZnO Films

副題 任意
要約 任意

(日) 本論文は,酸化亜鉛の圧電性多結晶薄膜をスパッタ法で作製する際,発生する高速酸素原子が酸化亜鉛膜にどのように影響するかを調べたもので,とくに多結晶の結晶軸配向性にひれいする圧電性の性能低下は酸素原子による膜衝撃が重要な要因のひとつであることを示し,膜の圧電性能や光学的特性を向上させる指針と提案したものである.

キーワード 推奨
発行所 推奨 応用物理学会
誌名 必須 Japanese Journal of Applied Physics([応用物理学会])
(pISSN: 0021-4922, eISSN: 1347-4065)
ISSN 任意 0021-4922
ISSN: 0021-4922 (pISSN: 0021-4922, eISSN: 1347-4065)
Title: Japanese journal of applied physics (2008)
Title(ISO): Jpn J Appl Phys (2008)
Supplier: 社団法人応用物理学会
Publisher: Japan Society of Applied Physics
 (NLM Catalog  (Webcat Plus  (Webcat Plus  (Webcat Plus  (Scopus  (Scopus  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
必須 21
必須 7
必須 999 1002
都市 任意
年月日 必須 1982年 7月 20日
URL 任意 http://ci.nii.ac.jp/naid/110003909419/
DOI 任意 10.1143/JJAP.21.999    (→Scopusで検索)
PMID 任意
NAID 任意 110003909419
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意