徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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研究活動: [徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座]/[富永 喜久雄]

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EID
85324
EOID
706747
Map
0
LastModified
2013年8月23日(金) 16:03:24
Operator
三木 ちひろ
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]
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組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
研究者 必須
  1. 富永 喜久雄
種別 必須
  1. 国内
出資団体 必須 文部省.日本学術振興会(->組織[独立行政法人日本学術振興会])
予算名 必須 科学研究費補助金
予算名2 推奨 (日) 一般研究C / (読) いっぱんけんきゅう
番号 推奨 01551249
課題 必須

(日) 対向ターゲット式プレーナマグネトロンスパッタリング法による薄膜作製装置の開発

要約 任意
金額 推奨
  1. 1800.0千円
  2. 300.0千円
期間 必須 1989年 4月 初日〜1991年 3月 31日
備考 任意