徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

徳島大学ウェブサイトへのリンク

著作: 旗谷 充彦/[英 崇夫]/[日下 一也]/[富永 喜久雄]/[松英 達也]/坂田 修身/Residual Stress Measurement in Sputtered Copper Thin Films by Synchrotron Radiation and Ordinary X-rays/Proceedings of the 7th International Conference on Residual Stresses

ヘルプを読む

「著作」(著作(著書,論文,レター,国際会議など))は,研究業績にかかる著作(著書,論文,レター,国際会議など)を登録するテーブルです. (この情報が属するテーブルの詳細な定義を見る)

  • 項目名の部分にマウスカーソルを置いて少し待つと,項目の簡単な説明がツールチップ表示されます.

この情報をEDB閲覧画面で開く

EID
84014
EOID
416191
Map
0
LastModified
2008年8月5日(火) 15:50:53
Operator
日下 一也
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
日下 一也
Read
継承
Write
継承
Delete
継承
種別 必須 国際会議
言語 必須 英語
招待 推奨
審査 推奨 Peer Review
カテゴリ 推奨 研究
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.機械工学科.生産システム講座
  2. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. (英) Hataya Mitsuhiko / (日) 旗谷 充彦 / (読) はたや みつひこ
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
    適合する可能性のある以下の学生情報を発見しました
    《旗谷 充彦 () @ 工学研究科.博士前期課程 [大学院学生] 2003年4月〜2005年3月》
    《旗谷 充彦 () @ 工学部 [学部学生] 1999年4月〜2003年3月》
    この情報が学生所属組織の業績等に分類されるためには学籍番号の登録が必要です.テキスト記載の個人が上記に掲げた個人本人ならば,学籍番号の登録を行ってください.(編集画面では学籍番号が表示されます)
  2. 英 崇夫
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. 日下 一也([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.生産工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.生産工学講座])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  5. 松英 達也([新居浜工業高等専門学校])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  6. (英) Sakata Osami / (日) 坂田 修身 / (読) さかた おさみ
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Residual Stress Measurement in Sputtered Copper Thin Films by Synchrotron Radiation and Ordinary X-rays

副題 任意
要約 任意

(日) ナノメートルサイズの厚さのCu薄膜の残留応力をシンクロトロン放射光を用いて測定した研究である.Cu薄膜は石英基板の上にdcプレーナマグネトロンスパッタリング法を用いて2種類の基板温度の条件の下で成膜した.さらに,原子間力顕微鏡を用いて膜表面の観察を行った.これらの測定の結果,基板上での膜の形成過程を明らかにし,200nm以上の厚さになると{111}配向すること,さらに,残留応力はすべての場合引張であること,また,膜の構造により残留応力の緩和が起こることを観察した.

キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 (英) Proceedings of the 7th International Conference on Residual Stresses
ISSN 任意
必須
必須
必須 661 666
都市 必須 西安(Xi'an/[中華人民共和国])
年月日 必須 2004年 6月 14日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意