徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: [林 由佳子]/近藤 久美子/[村井 啓一郎]/[森賀 俊広]/[中林 一朗]/[富永 喜久雄]/ZnO-SnO2 transparent conductive films deposited by opposed target sputtering system of ZnO and SnO2 targets/[Vacuum]

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EID
81266
EOID
876723
Map
0
LastModified
2017年12月3日(日) 20:40:32
Operator
大家 隆弘
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
森賀 俊広
Read
継承
Write
継承
Delete
継承
種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須 英語
招待 推奨
審査 推奨 Peer Review
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.化学応用工学科.化学プロセス工学講座
  2. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. 林 由佳子
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Kondo Kumiko / (日) 近藤 久美子 / (読) こんどう くみこ
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
    適合する可能性のある以下の学生情報を発見しました
    《近藤 久美子 () @ 工学研究科.博士前期課程 [大学院学生] 2002年4月〜2004年3月》
    《近藤 久美子 () @ 工学部 [学部学生] 1998年4月〜2002年3月》
    この情報が学生所属組織の業績等に分類されるためには学籍番号の登録が必要です.テキスト記載の個人が上記に掲げた個人本人ならば,学籍番号の登録を行ってください.(編集画面では学籍番号が表示されます)
  3. 村井 啓一郎([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.応用化学系.化学プロセス工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.応用化学システムコース.化学プロセス工学講座])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. 森賀 俊広([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.応用化学系.化学プロセス工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.応用化学システムコース.化学プロセス工学講座])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  5. 中林 一朗
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  6. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) ZnO-SnO2 transparent conductive films deposited by opposed target sputtering system of ZnO and SnO2 targets

副題 任意
要約 任意

(日) 対向ターゲット式DCマグネトロンスパッタリング法により,酸化亜鉛-酸化スズ系透明導電性薄膜を作製した.薄膜中の亜鉛含有量が増加するに従い,生成相はルチル型相,アモルファス相,ウルツ鉱型相と変化した.アモルファス相では,組成がSnO2·ZnSnO3となる付近で抵抗率が極小値を示し,ZnO·ZnSnO3となる付近で極大値を示すことを明らかにした.

キーワード 推奨
  1. (英) transparent conductive film
  2. (英) ZnO
  3. (英) SnO2
  4. (英) sputtering
    データベース中に適合する可能性のある以下の情報を発見しました
    [キーワード] スパッタリング (sputtering)
  5. (英) amorphous
  6. (英) ZnSnO3
  7. (英) Zn2SnO4
  8. (英) THIN-FILMS
  9. (英) ZINC-STANNATE
  10. (英) IN2O3
発行所 推奨 Elsevier Science
誌名 必須 Vacuum([Elsevier Science])
(pISSN: 0042-207X, eISSN: 1879-2715)
ISSN 任意 0042-207X
ISSN: 0042-207X (pISSN: 0042-207X, eISSN: 1879-2715)
Title: Vacuum
Title(ISO): Vacuum
Publisher: Elsevier Ltd.
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
必須 74
必須 3-4
必須 607 611
都市 任意
年月日 必須 2004年 3月 10日
URL 任意
DOI 任意 10.1016/j.vacuum.2004.01.033    (→Scopusで検索)
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意 000221843100043
Scopus 任意 2-s2.0-2442560055
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意