徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

1. 徳島大学.工学研究科.エコシステム工学専攻.資源循環工学講座(〜2014年3月31日)

1. (英) Tomonari Shigeaki

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2. (英) Yoshida Hitoshi

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3. (英) Kamakura Masanao

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4. (英) Yoshida Kazushi

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5. (英) Kawahito Keiko

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6. (英) Saitoh Masaaki

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7. (英) Kawada Hiroshi

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8. ヨードカシス サウリウス([北海道大学])

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9. 三澤 弘明([北海道大学])

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(英) Efficient Microvalve Driven by a Si-Ni Bimorph

(英) We report on a new type of high-throughput thermally driven microvalve fabricated by using micro-electromechanical system (MEMS) technology. A miniaturized Si-Ni bimorph actuator was incorporated into the valve structure. This allowed the realization of both larger force generation and a longer stroke (the actuation length) combined with shortened response time. Also, a low-voltage actuation (${<}3$ V) and low-energy consumption (${<}0.2$ W) were achieved. The actual size of the fabricated valve is $7.3 imes 5.8 imes 1.2$ mm3. The flow rate of 0 to 500 cm3/min at an air pressure of 47 kPa with a low leakage rate of 0.03 cm3/min and good linearity of air pressure control were achieved. The principles of design and experimental results on flow rate control are presented and discussed.

1. (英) bimorph
2. (英) MEMS
3. (英) thermal expansion