著作: Tomonari Shigeaki/Yoshida Hitoshi/Kamakura Masanao/Yoshida Kazushi/Kawahito Keiko/Saitoh Masaaki/Kawada Hiroshi/[ヨードカシス サウリウス]/[三澤 弘明]/Miniaturization of a Thermally Driven Ni|Si Bimorph/[Japanese Journal of Applied Physics, Part 1 (Regular Papers & Short Notes)]
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| 種別 | 必須 | 学術論文(審査論文) | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 言語 | 必須 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 招待 | 推奨 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 審査 | 推奨 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| カテゴリ | 推奨 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 共著種別 | 推奨 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 学究種別 | 推奨 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 組織 | 推奨 |
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| 著者 | 必須 |
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| 題名 | 必須 |
(英) Miniaturization of a Thermally Driven Ni|Si Bimorph |
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| 副題 | 任意 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 要約 | 任意 |
(英) We report on the development of a thermally isolated bimorph structure based on a Ni$|$Si pair. A 1-mm-long beam of the bimorph was thermally isolated by a polyimide comb from the rest of the Si structure. The Si and Ni layers of the bimorph were 20 μm thick. This geometry enabled us to generate the bending displacement (the stroke) of the free end of the bimorph up to 100 μm at about 100°C with a generated force of about 15 mN. Electrical power consumption for the 100°C working point was lower than 0.2 W and the response time was 0.5 s. This design entitles further miniaturization of micro-electromechanical systems (MEMSs) such as commercial microvalve structures and sensors. The principles of design and experimental results of temperature distribution for the bimorph are presented and discussed. |
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| キーワード | 推奨 |
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| 発行所 | 推奨 | 物理系学術誌刊行協会 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 誌名 | 必須 |
Japanese Journal of Applied Physics, Part 1 (Regular Papers & Short Notes)([応用物理学会])
(pISSN: 0021-4922, eISSN: 1347-4065)
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| 巻 | 必須 | 42 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 号 | 必須 | 7A | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 頁 | 必須 | 4464 4468 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 都市 | 任意 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 年月日 | 必須 | 2003年 7月 15日 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| URL | 任意 | http://ci.nii.ac.jp/naid/10011259165/ | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| DOI | 任意 | 10.1143/JJAP.42.4464 (→Scopusで検索) | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| PMID | 任意 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| CRID | 任意 | 1390001206255281152 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| NAID | 10011259165 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| WOS | 任意 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Scopus | 任意 | 2-s2.0-0141496343 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 評価値 | 任意 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 被引用数 | 任意 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 指導教員 | 推奨 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 備考 | 任意 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||