徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: Mizeikis Vygantas/[ヨードカシス サウリウス]/叶 佳玉/Rode A/[松尾 繁樹]/[三澤 弘明]/Silicon surface processing techniques for micro-systems fabrication/[Thin Solid Films]

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EID
74943
EOID
879397
Map
0
LastModified
2017年12月12日(火) 16:23:08
Operator
大家 隆弘
Avail
TRUE
Censor
承認済
Owner
[学科長]/[徳島大学.工学部.光応用工学科]
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種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学研究科.エコシステム工学専攻.資源循環工学講座(〜2014年3月31日)
著者 必須
  1. (英) Mizeikis Vygantas
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. ヨードカシス サウリウス([北海道大学])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Ye Jia-Yu / (日) 叶 佳玉 / (読) いえ じゃい
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. (英) Rode A
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  5. 松尾 繁樹
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  6. 三澤 弘明([北海道大学])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Silicon surface processing techniques for micro-systems fabrication
副題 任意
要約 任意
キーワード 推奨
  1. ケイ素(silicon)
  2. (英) optoelectronic devices
  3. (英) laser ablation
  4. (英) nanostructures
発行所 推奨
誌名 必須 Thin Solid Films([Elsevier])
(pISSN: 0040-6090)
ISSN 任意 0040-6090
ISSN: 0040-6090 (pISSN: 0040-6090)
Title: Thin solid films
Title(ISO): Thin Solid Films
Publisher: Elsevier B.V.
 (NLM Catalog)   (Scopus)   (CrossRef)  (Scopus information is found. [need login])
巻 必須 438-439
号 必須 0
頁 必須 445 451
都市 任意
年月日 必須 2003年 8月 22日
URL 任意
DOI 任意 10.1016/S0040-6090(03)00803-4    (→Scopusで検索)
PMID 任意
CRID 任意
WOS 任意 000185087900085
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意