著作: Mizeikis Vygantas/[ヨードカシス サウリウス]/叶 佳玉/Rode A/[松尾 繁樹]/[三澤 弘明]/Silicon surface processing techniques for micro-systems fabrication/[Thin Solid Films]
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| 種別 | 必須 | 学術論文(審査論文) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 言語 | 必須 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 招待 | 推奨 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 審査 | 推奨 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| カテゴリ | 推奨 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 共著種別 | 推奨 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 学究種別 | 推奨 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 組織 | 推奨 |
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| 著者 | 必須 |
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| 題名 | 必須 |
(英) Silicon surface processing techniques for micro-systems fabrication |
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| 副題 | 任意 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 要約 | 任意 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| キーワード | 推奨 |
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| 発行所 | 推奨 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 誌名 | 必須 |
Thin Solid Films([Elsevier])
(pISSN: 0040-6090)
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| 巻 | 必須 | 438-439 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 号 | 必須 | 0 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 頁 | 必須 | 445 451 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 都市 | 任意 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 年月日 | 必須 | 2003年 8月 22日 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| URL | 任意 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| DOI | 任意 | 10.1016/S0040-6090(03)00803-4 (→Scopusで検索) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| PMID | 任意 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| CRID | 任意 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| WOS | 000185087900085 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Scopus | 任意 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| researchmap | 任意 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 評価値 | 任意 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 被引用数 | 任意 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 指導教員 | 推奨 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 備考 | 任意 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||