著作: [長谷 栄治]/[時実 悠]/貞廣 知輝/[南川 丈夫]/Morohashi Isao/[安井 武史]/Nanometer-precision surface metrology of millimeter-sized stepped objects using full-cascade-linked synthetic-wavelength digital holography using a line-by-line full-mode-extracted optical frequency comb/[Optics Express]
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| 言語 | 必須 | 英語 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 招待 | 推奨 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 審査 | 推奨 | Peer Review | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| カテゴリ | 推奨 | 研究 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 共著種別 | 推奨 | 徳島大学以外での国内共著(徳島大学以外でのある一つの国に属する複数機関による共同研究 (国外研究者を含まない)) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 学究種別 | 推奨 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 組織 | 推奨 |
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| 著者 | 必須 |
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| 題名 | 必須 |
(英) Nanometer-precision surface metrology of millimeter-sized stepped objects using full-cascade-linked synthetic-wavelength digital holography using a line-by-line full-mode-extracted optical frequency comb |
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| 副題 | 任意 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 要約 | 任意 |
(英) Digital holography (DH) is a powerful tool for the surface profilometry of objects with sub-wavelength precision. In this article, we demonstrate full-cascade-linked synthetic-wavelength DH for nanometer-precision surface metrology of millimeter-sized stepped objects. 300 modes of optical frequency comb (OFC) with different wavelengths are sequentially extracted at a step of mode spacing from a 10GHz-spacing, 3.72THz-spanning electro-optic modulator OFC. The resulting 299 synthetic wavelengths and a single optical wavelength are used to generate a fine-step wide-range cascade link covering within a wavelength range of 1.54 µm to 29.7 mm. We determine the sub-millimeter and millimeter step differences with axial uncertainty of 6.1 nm within the maximum axial range of 14.85 mm. |
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| キーワード | 推奨 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 発行所 | 推奨 | Optica Publishing Group | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 誌名 | 必須 |
Optics Express([Optical Society of America])
(eISSN: 1094-4087)
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| 巻 | 必須 | 31 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 号 | 必須 | 11 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 頁 | 必須 | 18088 18097 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 都市 | 任意 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 年月日 | 必須 | 2023年 5月 22日 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| URL | 任意 | https://opg.optica.org/oe/fulltext.cfm?uri=oe-31-11-18088&id=530639 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| DOI | 任意 | 10.1364/OE.483408 (→Scopusで検索) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| PMID | 任意 | 37381527 (→Scopusで検索) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| CRID | 任意 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| WOS | 任意 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Scopus | 任意 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 評価値 | 任意 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 被引用数 | 任意 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 指導教員 | 推奨 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 備考 | 任意 |
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