著作: [日下 一也]/白坂 賢汰/[米倉 大介]/田中 勇太/Measurement of the residual stress in chromium nitride coatings deposited on an aluminum alloy substrate using arc ion plating method/[Journal of Vacuum Science and Technology. B, Nanotechnology & Microelectronics : Materials, Processing, Measurement, & Phenomena : JVST B]
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| 言語 | 必須 | 英語 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 招待 | 推奨 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 審査 | 推奨 | Peer Review | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| カテゴリ | 推奨 | 研究 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 共著種別 | 推奨 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 学究種別 | 推奨 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 組織 | 推奨 |
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| 著者 | 必須 |
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| 題名 | 必須 |
(英) Measurement of the residual stress in chromium nitride coatings deposited on an aluminum alloy substrate using arc ion plating method |
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| 副題 | 任意 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 要約 | 任意 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| キーワード | 推奨 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 発行所 | 推奨 | (英) American Vacuum Society | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 誌名 | 必須 |
Journal of Vacuum Science and Technology. B, Nanotechnology & Microelectronics : Materials, Processing, Measurement, & Phenomena : JVST B(American Vacuum Society/American Institute of Physics)
(pISSN: 2166-2746, eISSN: 2166-2754)
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| 巻 | 必須 | 37 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 号 | 必須 | --- | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 頁 | 必須 | 062916-1 062916-5 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 都市 | 任意 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 年月日 | 必須 | 2019年 10月 28日 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| URL | 任意 | https://doi.org/10.1116/1.5118702 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| DOI | 任意 | 10.1116/1.5118702 (→Scopusで検索) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| PMID | 任意 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| CRID | 任意 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| WOS | 任意 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Scopus | 任意 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| researchmap | 任意 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 評価値 | 任意 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 被引用数 | 任意 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 指導教員 | 推奨 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 備考 | 任意 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||