徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: Ye Z./Nitta S./[永松 謙太郎]/Fujimoto N./Kushimoto M./Deki M./Tanaka A./Honda Y./Pristovsek M./Amano H./Ammonia decomposition and reaction by high-resolution mass spectrometry for group III Nitride epitaxial growth/[Journal of Crystal Growth]

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EID
358357
EOID
984934
Map
0
LastModified
2020年8月10日(月) 20:25:35
Operator
山田 美緒
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
永松 謙太郎
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Write
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継承
種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須 英語
招待 推奨
審査 推奨 Peer Review
カテゴリ 推奨 研究
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.ポストLEDフォトニクス研究所(2019年3月1日〜)
著者 必須
  1. (英) Ye Z.
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Nitta S.
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. 永松 謙太郎([徳島大学.ポストLEDフォトニクス研究所])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. (英) Fujimoto N.
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  5. (英) Kushimoto M.
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  6. (英) Deki M.
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  7. (英) Tanaka A.
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  8. (英) Honda Y.
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  9. (英) Pristovsek M.
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  10. (英) Amano H.
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Ammonia decomposition and reaction by high-resolution mass spectrometry for group III Nitride epitaxial growth

副題 任意
要約 任意

(英) The decomposition of ammonia (NH3) in nitrogen (N2) ambient was studied under non-equilibrium conditions similar to those in a metal organic vapor phase epitaxy (MOVPE) reactor during the epitaxial growth of group-III nitrides. The gas phase was sampled at different positions and analyzed using a time-of-flight mass spectrometry system with a high resolution (better than 0.002u). Our results expand earlier findings. Even at the high temperature of 1200°C, only 26% of NH3 decomposed in a clean metal-free reactor, whereas a higher ratio of NH3 decomposition was realized in the presence of stainless steel. The activation energy in the clean reactor was calculated to be 0.965±0.004eV. These results demonstrate the capability of our setup and shed new light on the elucidation of the vapor phase growth mechanism of group III-nitrides by MOVPE.

キーワード 推奨
発行所 推奨 Elsevier(->組織[Elsevier Science])
誌名 必須 Journal of Crystal Growth([Elsevier])
(pISSN: 0022-0248)
ISSN 任意 0022-0248
ISSN: 0022-0248 (pISSN: 0022-0248)
Title: Journal of crystal growth
Title(ISO): J Cryst Growth
Publisher: Elsevier BV
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
必須 516
必須
必須 63 66
都市 任意
年月日 必須 2019年 6月 15日
URL 任意 https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0022024819302015
DOI 任意 10.1016/j.jcrysgro.2019.03.025    (→Scopusで検索)
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意