徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: [南川 丈夫]/[謝 宜達]/澁谷 九輝/[長谷 栄治]/兼岡 良樹/[大久保 章]/[稲場 肇]/[水谷 康弘]/[山本 裕紹]/[岩田 哲郎]/[安井 武史]/Dual-comb spectroscopic ellipsometry./[Nature Communications]

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EID
334830
EOID
961552
Map
0
LastModified
2019年9月3日(火) 15:33:32
Operator
三木 ちひろ
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
南川 丈夫
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継承
種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須 英語
招待 推奨
審査 推奨 Peer Review
カテゴリ 推奨 研究
共著種別 推奨 国内共著(徳島大学内研究者と国内(学外)研究者との共同研究 (国外研究者を含まない))
学究種別 推奨
組織 推奨
著者 必須
  1. 南川 丈夫([徳島大学.ポストLEDフォトニクス研究所])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. 謝 宜達([大学院ソシオテクノサイエンス研究部.先進物質材料部門])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Shibuya Kyuki / (日) 澁谷 九輝 / (読) しぶや きゅうき
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨 ****
  4. 長谷 栄治([徳島大学.ポストLEDフォトニクス研究所])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  5. (英) Kaneoka Yoshiki / (日) 兼岡 良樹 / (読) かねおか よしき
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨 ****
  6. 大久保 章([独立行政法人 産業技術総合研究所])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  7. 稲場 肇([独立行政法人 産業技術総合研究所])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  8. 水谷 康弘
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  9. 山本 裕紹
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  10. 岩田 哲郎([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.知能機械学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.知能機械学講座])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  11. 安井 武史([徳島大学.ポストLEDフォトニクス研究所]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.生産工学講座])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Dual-comb spectroscopic ellipsometry.

副題 任意
要約 任意

(日) Spectroscopic ellipsometry is a means of investigating optical and dielectric material responses. Conventional spectroscopic ellipsometry is subject to trade-offs between spectral accuracy, resolution, and measurement time. Polarization modulation has afforded poor performance because of its sensitivity to mechanical vibrational noise, thermal instability, and polarization-wavelength dependency. We combine spectroscopic ellipsometry with dual-comb spectroscopy, namely, dual-comb spectroscopic ellipsometry. Dual-comb spectroscopic ellipsometry (DCSE). DCSE directly and simultaneously obtains the ellipsometric parameters of the amplitude ratio and phase difference between s-polarized and p-polarized light signals with ultra-high spectral resolution and no polarization modulation, beyond the conventional limit. Ellipsometric evaluation without polarization modulation also enhances the stability and robustness of the system. In this study, we construct a polarization-modulation-free DCSE system with a spectral resolution of up to 1.2 × 10(-5) nm throughout the spectral range of 1514-1595 nm and achieved an accuracy of 38.4 nm and a precision of 3.3 nm in the measurement of thin-film samples.Spectroscopic ellipsometry is an established technique to characterize the optical properties of a material. Here, Minamikawa et al. combine the method with dual-comb spectroscopy, which allows them to obtain ellipsometric parameters including the phase difference between s-polarized and p-polarized light.

キーワード 推奨
発行所 推奨 Nature Publishing Group
誌名 必須 Nature Communications([Nature Publishing Group])
(eISSN: 2041-1723)
ISSN 任意 2041-1723
ISSN: 2041-1723 (eISSN: 2041-1723)
Title: Nature communications
Title(ISO): Nat Commun
Publisher: Nature Publishing Group
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
必須 8
必須 ---
必須 610 610
都市 任意
年月日 必須 2017年 9月 20日
URL 任意
DOI 任意 10.1038/s41467-017-00709-y    (→Scopusで検索)
PMID 任意 28931818    (→Scopusで検索)
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
機関リポジトリ 112462
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意
  1. (英) PublicationType: Journal Article