徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

1. 南川 丈夫

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2. 謝 宜達([徳島大学.大学院ソシオテクノサイエンス研究部.先進物質材料部門])

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3. (英) Shibuya Kyuki / (日) 澁谷 九輝 / (読) しぶや きゅうき

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4. 長谷 栄治([徳島大学.ポストLEDフォトニクス研究所])

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5. (英) Kaneoka Yoshiki / (日) 兼岡 良樹 / (読) かねおか よしき

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6. 大久保 章([独立行政法人 産業技術総合研究所])

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7. 稲場 肇([独立行政法人 産業技術総合研究所])

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8. 水谷 康弘

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9. 山本 裕紹

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10. 岩田 哲郎

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11. 安井 武史([徳島大学.ポストLEDフォトニクス研究所]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.生産工学講座])

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(英) Dual-comb spectroscopic ellipsometry.

(日) Spectroscopic ellipsometry is a means of investigating optical and dielectric material responses. Conventional spectroscopic ellipsometry is subject to trade-offs between spectral accuracy, resolution, and measurement time. Polarization modulation has afforded poor performance because of its sensitivity to mechanical vibrational noise, thermal instability, and polarization-wavelength dependency. We combine spectroscopic ellipsometry with dual-comb spectroscopy, namely, dual-comb spectroscopic ellipsometry. Dual-comb spectroscopic ellipsometry (DCSE). DCSE directly and simultaneously obtains the ellipsometric parameters of the amplitude ratio and phase difference between s-polarized and p-polarized light signals with ultra-high spectral resolution and no polarization modulation, beyond the conventional limit. Ellipsometric evaluation without polarization modulation also enhances the stability and robustness of the system. In this study, we construct a polarization-modulation-free DCSE system with a spectral resolution of up to 1.2 × 10(-5) nm throughout the spectral range of 1514-1595 nm and achieved an accuracy of 38.4 nm and a precision of 3.3 nm in the measurement of thin-film samples.Spectroscopic ellipsometry is an established technique to characterize the optical properties of a material. Here, Minamikawa et al. combine the method with dual-comb spectroscopy, which allows them to obtain ellipsometric parameters including the phase difference between s-polarized and p-polarized light.

1. (英) PublicationType: Journal Article