徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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特許・実用新案: 土橋 和也/[井内 健介]/斉藤 美佐子/東京エレクトロン株式会社/基板洗浄方法,基板洗浄装置及び真空処理システム/20120928/20140421

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EID
280155
EOID
817682
Map
0
LastModified
2016年4月22日(金) 18:29:21
Operator
井内 健介
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
井内 健介
Read
継承
Write
継承
Delete
継承
組織 推奨
種別 必須 特許
出願国 必須
  1. 国内
発明者 必須
  1. (日) 土橋 和也
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. 井内 健介([徳島大学.四国産学官連携イノベーション共同推進機構]/[徳島大学.研究支援・産官学連携センター])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (日) 斉藤 美佐子
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
出願人 推奨
  1. (日) 東京エレクトロン株式会社
名称 必須

(日) 基板洗浄方法,基板洗浄装置及び真空処理システム

要約 任意
キーワード 推奨
出願 必須 2012-217539
出願年月日 必須 2012年 9月 28日
開示 必須 2014-072383
開示年月日 必須 2014年 4月 21日
番号 必須
年月日 必須
備考 任意