徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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特許・実用新案: [井内 健介]/土橋 和也/東京エレクトロン株式会社/ガスクラスター照射機構およびそれを用いた基板処理装置,ならびにガスクラスター照射方法/20120704/20140123

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EID
280154
EOID
817681
Map
0
LastModified
2016年4月22日(金) 18:28:59
Operator
井内 健介
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
井内 健介
Read
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Write
継承
Delete
継承
組織 推奨
種別 必須 特許
出願国 必須
  1. 国内
発明者 必須
  1. 井内 健介([徳島大学.四国産学官連携イノベーション共同推進機構]/[徳島大学.研究支援・産官学連携センター])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (日) 土橋 和也
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
出願人 推奨
  1. (日) 東京エレクトロン株式会社
名称 必須

(日) ガスクラスター照射機構およびそれを用いた基板処理装置,ならびにガスクラスター照射方法

要約 任意
キーワード 推奨
出願 必須 2012-150695
出願年月日 必須 2012年 7月 4日
開示 必須 2014-013834
開示年月日 必須 2014年 1月 23日
番号 必須
年月日 必須
備考 任意