徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: 日和佐 悠一/林 浩太郎/[西野 克志]/荒れた6H-SiC基板へ昇華法により成長したAlNの剥離機構/日本結晶成長学会 ナノ構造・エピタキシャル成長分科会 第5回窒化物半導体結晶成長講演会

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EID
275769
EOID
889792
Map
0
LastModified
2018年2月26日(月) 19:45:46
Operator
大家 隆弘
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
西野 克志
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種別 必須 国内講演発表
言語 必須 日本語
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨 研究
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
著者 必須
  1. (英) Hiwasa Yuichi / (日) 日和佐 悠一 / (読) ひわさ ゆういち
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨 ****
  2. (英) Hayashi Kotaro / (日) 林 浩太郎 / (読) はやし こうたろう
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨 ****
  3. 西野 克志([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.電気電子系.物性デバイス分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.電気電子システムコース.物性デバイス講座])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(日) 荒れた6H-SiC基板へ昇華法により成長したAlNの剥離機構

副題 任意
要約 任意
キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 (日) 日本結晶成長学会 ナノ構造・エピタキシャル成長分科会 第5回窒化物半導体結晶成長講演会
ISSN 任意
必須
必須
必須 FR18 FR18
都市 必須
年月日 必須 2013年 6月 21日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意