徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: [日下 一也]/谷口 大輔/[英 崇夫]/[富永 喜久雄]/直流2極および高周波スパッタリング生成したAlN薄膜の結晶配向性および残留応力/第37回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集

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EID
26395
EOID
328599
Map
0
LastModified
2007年2月14日(水) 17:34:28
Operator
日下 一也
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
日下 一也
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Write
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継承
種別 必須 国内講演発表
言語 必須 日本語
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨 研究
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.機械工学科.生産システム講座
  2. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. 日下 一也([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.生産工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.生産工学講座])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Taniguchi Daisuke / (日) 谷口 大輔 / (読) たにぐち だいすけ
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
    適合する可能性のある以下の学生情報を発見しました
    《谷口 大輔 () @ 工学研究科.博士前期課程 [大学院学生] 1999年4月〜2001年3月》
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  3. 英 崇夫
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Crystal Orientation and Residual Stress in AlN Films Deposited by DC and RF Sputtering

(日) 直流2極および高周波スパッタリング生成したAlN薄膜の結晶配向性および残留応力

副題 任意
要約 任意
キーワード 推奨
発行所 推奨 日本材料学会
誌名 必須 (英) Proceedings of the 37th symposium on X-ray studies on mechanical behavior of materials / (日) 第37回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集 / (読) だいさんじゅうななかい えっくすせんざいりょうきょうどにかんするしんぽじうむこうえんろんぶんしゅう
ISSN 任意
必須
必須
必須 170 174
都市 必須 京都(Kyoto/[日本国])
年月日 必須 2001年 9月 6日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意