徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: Wang X Hong/Amijima Y/Ishihama Yasuhiro/[酒井 士郎]/The development of a novel three-flow six-wafer reactor of metal-organic chemical vapor deposition system for GaN-based structure/[Journal of Crystal Growth]

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EID
25610
EOID
876443
Map
0
LastModified
2017年11月28日(火) 17:52:38
Operator
大家 隆弘
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
酒井 士郎
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種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. (英) Wang X Hong
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Amijima Y
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Ishihama Yasuhiro
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. 酒井 士郎
    役割 任意

    (日) 6枚機の仕様

    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) The development of a novel three-flow six-wafer reactor of metal-organic chemical vapor deposition system for GaN-based structure

副題 任意
要約 任意

(日) 2インチ6枚機の仕様を持ったMOCVD機を作った.AlGaN ですべての組成を持つ混晶がえられた.

キーワード 推奨
  1. (英) photoluminescence
  2. (英) X-ray diffraction
  3. (英) metalorganic chemical vapor deposition
  4. (英) gallium compounds
  5. (英) nitrides
発行所 推奨
誌名 必須 Journal of Crystal Growth([Elsevier])
(pISSN: 0022-0248)
ISSN 任意 0022-0248
ISSN: 0022-0248 (pISSN: 0022-0248)
Title: Journal of crystal growth
Title(ISO): J Cryst Growth
Publisher: Elsevier BV
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
必須 235
必須 1
必須 173 176
都市 任意
年月日 必須 2002年 2月 1日
URL 任意
DOI 任意 10.1016/S0022-0248(01)01916-9    (→Scopusで検索)
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意 2-s2.0-0036467093
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意