徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: [竹内 政樹]/角田 浩道/[田中 秀治]/Shiramizu Yoshimi/Parallel-Plate Wet Denuder Coupled Ion Chromatograph for Near-Real-Time Detection of Trace Acidic Gases in Clean Room Air/[Analytical Sciences]

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EID
250293
EOID
904827
Map
0
LastModified
2018年5月14日(月) 14:01:07
Operator
竹内 政樹
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
竹内 政樹
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種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須 英語
招待 推奨
審査 推奨 Peer Review
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
著者 必須
  1. 竹内 政樹([徳島大学.大学院医歯薬学研究部.薬学域.薬科学部門.創薬科学系.分析科学])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Tsunoda Hiromichi / (日) 角田 浩道 / (読) つのだ ひろみち
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨 ****
  3. 田中 秀治([徳島大学.大学院医歯薬学研究部.薬学域.薬科学部門.創薬科学系.分析科学]/徳島大学薬学部創製薬科学科分析科学研究室/徳島大学大学院薬科学教育部分析科学分野)
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. (英) Shiramizu Yoshimi
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Parallel-Plate Wet Denuder Coupled Ion Chromatograph for Near-Real-Time Detection of Trace Acidic Gases in Clean Room Air

副題 任意
要約 任意

(英) This paper describes the performance of our automated acidic (CH(3)COOH, HCOOH, HCl, HNO(2), SO(2), and HNO(3)) gases monitor utilizing a parallel-plate wet denuder (PPWD). The PPWD quantitatively collects gaseous contaminants at a high sample flow rate (8 dm(3) min(-1)) compared to the conventional methods used in a clean room. Rapid response to any variability in the sample concentration enables near-real-time monitoring. In the developed monitor, the analyte collected with the PPWD is pumped into one of two preconcentration columns for 15 min, and determined by means of ion chromatography. While one preconcentration column is used for chromatographic separation, the other is used for loading the sample solution. The system allows continuous monitoring of the common acidic gases in an advanced semiconductor manufacturing clean room.

キーワード 推奨
  1. (英) Acetic Acid
  2. (英) Air
  3. (英) Chromatography, Gas
  4. (英) Formic Acids
  5. (英) Gases
  6. (英) Hydrochloric Acid
  7. (英) Nitric Acid
  8. (英) Nitrous Acid
  9. (英) Sulfur Dioxide
  10. (英) Wettability
発行所 推奨
誌名 必須 Analytical Sciences([日本分析化学会])
(pISSN: 0910-6340, eISSN: 1348-2246)
ISSN 任意 1348-2246
ISSN: 0910-6340 (pISSN: 0910-6340, eISSN: 1348-2246)
Title: Analytical sciences : the international journal of the Japan Society for Analytical Chemistry
Title(ISO): Anal Sci
Supplier: 社団法人 日本分析化学会
Publisher: Japan Society for Analytical Chemistry
 (NLM Catalog  (医中誌Web  (J-STAGE  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
必須 27
必須 8
必須 805 810
都市 任意
年月日 必須 2011年 8月 10日
URL 任意
DOI 任意 10.2116/analsci.27.805    (→Scopusで検索)
PMID 任意 21828917    (→Scopusで検索)
NAID 任意
WOS 任意 000294376400005
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意
  1. (英) Article.Affiliation: Institute of Health Biosciences, The University of Tokushima Graduate School, 1-78-1 Shomachi, Tokushima 770-8505, Japan. takeuchi@ph.tokushima-u.ac.jp

  2. (英) Article.PublicationTypeList.PublicationType: Journal Article