徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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学位論文: [徳島大学.先端技術科学教育部.システム創生工学専攻.電気電子創生工学コース]/[修士]/容量結合型RF高周波プラズマによるワイドギャップ半導体のエッチングダメージに関する研究/20120308/[富永 喜久雄]

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EID
246195
EOID
706839
Map
0
LastModified
2013年8月23日(金) 16:52:26
Operator
三木 ちひろ
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TRUE
Censor
0
Owner
[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]
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学科・専攻 必須
  1. 徳島大学.先端技術科学教育部.システム創生工学専攻.電気電子創生工学コース(2006年4月1日〜)
学位 必須 修士
学位名称 必須
言語 推奨
氏名 必須
題名 必須

(日) 容量結合型RF高周波プラズマによるワイドギャップ半導体のエッチングダメージに関する研究

副題 任意
要約 任意
キーワード 推奨
年月日 必須 2012年 3月 8日
指導教員 必須
  1. 富永 喜久雄
指導協力教員 任意
審査教員 必須
  1. 富永 喜久雄
  2. 大野 泰夫
  3. 大宅 薫
備考 任意