徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: [富永 喜久雄]/高尾 俊公/福島 明彦/[森賀 俊広]/[中林 一朗]/Amorphous ZnO-In2O3 transparent conductive films by simultaneous sputtering method of ZnO and In2O3 targets/[Vacuum]

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EID
24615
EOID
707270
Map
0
LastModified
2013年8月27日(火) 12:00:45
Operator
三木 ちひろ
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
森賀 俊広
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Write
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継承
種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須 英語
招待 推奨
審査 推奨 Peer Review
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
  2. 徳島大学.工学部.化学応用工学科.化学プロセス工学講座
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Takao Toshimasa / (日) 高尾 俊公 / (読) たかお としまさ
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
    適合する可能性のある以下の学生情報を発見しました
    《高尾 俊公 () @ 工学研究科.博士前期課程 [大学院学生] 1999年4月〜2001年3月》
    この情報が学生所属組織の業績等に分類されるためには学籍番号の登録が必要です.テキスト記載の個人が上記に掲げた個人本人ならば,学籍番号の登録を行ってください.(編集画面では学籍番号が表示されます)
  3. (英) Fukushima Akihiko / (日) 福島 明彦 / (読) ふくしま あきひこ
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
    適合する可能性のある以下の学生情報を発見しました
    《福島 明彦 () @ 工学研究科.博士前期課程 [大学院学生] 2000年4月〜2002年3月》
    《福島 明彦 () @ 工学部 [学部学生] 1996年4月〜2000年3月》
    この情報が学生所属組織の業績等に分類されるためには学籍番号の登録が必要です.テキスト記載の個人が上記に掲げた個人本人ならば,学籍番号の登録を行ってください.(編集画面では学籍番号が表示されます)
  4. 森賀 俊広([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.応用化学系.化学プロセス工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.応用化学システムコース.化学プロセス工学講座])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  5. 中林 一朗
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Amorphous ZnO-In2O3 transparent conductive films by simultaneous sputtering method of ZnO and In2O3 targets

副題 任意
要約 任意

(日) 2元系のZnO-In2O3をDC対向ターゲット式スパッタ法で作製した.この膜中にAl酸化物やSn酸化物を添加したときの影響について調べた.Al酸化物添加では低抵抗のアモルファス膜が250℃以下で作製できた.最小抵抗率は4x10^-4Ωcmである.Sn酸化物の場合はこれより幾分高い値であった..AlやSnがドナーとして働いていないことを示す.ホモロガス結晶相の膜の場合も,AlやSnの酸化物の添加は電気特性への影響はほとんど見られない.

キーワード 推奨
  1. (英) HOMOLOGOUS COMPOUNDS
  2. (英) ZINC-OXIDE
  3. (英) SYSTEM
    データベース中に適合する可能性のある以下の情報を発見しました
    [キーワード] D-アミノ酸バイオシステム (D-amino acid bio-system)
    [キーワード] e-learningシステム (e-learning system)
    [キーワード] エキスパートシステム (expert system)
    [キーワード] エコシステム工学 (ecosystem engineering)
    [キーワード] 沿岸生態系 (ecosystem in coastal zone)
    [キーワード] 重い電子系 (heavy-fermion system)
    [キーワード] 機械翻訳システム (machine translation system)
    [キーワード] 強相関電子系 (strongly correlated electron systems)
    [キーワード] 組み込みシステム (embedded system)
    [キーワード] 計画支援システム (planning support system)
    [キーワード] 結合系 (coupled systems)
    [キーワード] 広域電力系統計測 (wide area measurement system for power system)
    [キーワード] サーボ系 (servo system)
    [キーワード] システム (system)
    [キーワード] システム設計 (system design)
    [キーワード] システム同定 (system identification)
    [キーワード] 自然言語処理システム (natural language processing system)
    [キーワード] 情報検索システム (information retrieval system)
    [キーワード] 神経系 (nervous system)
    [キーワード] 振動システム (oscillatory system)
    [キーワード] 生態系 (ecosystem)
    [キーワード] 生態系管理 (ecosystem management)
    [キーワード] 生体システム (biosystem)
    [キーワード] 生命倫理法制 (bioethics law system)
    [キーワード] 線形システム (linear system)
    [キーワード] 線形システム (linear systems/->キーワード[線形システム])
    [キーワード] 太陽光発電システム (photovoltaic generation system)
    [キーワード] 知識システム (knowledge-based system)
    [キーワード] 中枢神経系 (central nervous system)
    [キーワード] 中枢神経障害 (neuronal damage of central nervous system)
    [キーワード] 地理情報システム (geographic information system)
    [キーワード] データベースシステム (database system)
    [キーワード] 電力系統保護 (power system protection)
    [キーワード] 動的システム (dynamical systems/->キーワード[力学系])
    [キーワード] 特殊線形系 (special linear system)
    [キーワード] 都市システム (urban system)
    [キーワード] ドラッグデリバリーシステム (drug delivery system/->キーワード[薬物送達システム])
    [キーワード] ハミルトン力学系 (Hamiltonian dynamical system)
    [キーワード] 干潟生態系 (ecosystem on tidal flat)
    [キーワード] 非線形システム (nonlinear systems)
    [キーワード] 非線形力学系 (nonlinear dynamical system)
    [キーワード] 風力発電システム (wind power generation system)
    [キーワード] 複雑系 (complex systems)
    [キーワード] 分散処理システム (distributed processing system)
    [キーワード] 分布定数系 (distributed parameter systems)
    [キーワード] マルチエージェントシステム (multi-agent systems)
    [キーワード] むだ時間を含む系 (systems with time-delay)
    [キーワード] 薬物送達システム (drug delivery system)
    [キーワード] 力学系 (dynamical system)
    [キーワード] 離散時間系 (discrete-time system)
    [キーワード] 量子スピン系 (quantum spin system)
    [キーワード] レニン·アンジオテンシンシステム (Renin-angiotensin System)
    [キーワード] ロボットシステム (robot system)
発行所 推奨 Elsevier Science
誌名 必須 Vacuum([Elsevier Science])
(pISSN: 0042-207X, eISSN: 1879-2715)
ISSN 任意 0042-207X
ISSN: 0042-207X (pISSN: 0042-207X, eISSN: 1879-2715)
Title: Vacuum
Title(ISO): Vacuum
Publisher: Elsevier Ltd.
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
必須 66
必須 3-4
必須 505 509
都市 任意
年月日 必須 2002年 5月 1日
URL 任意 http://ci.nii.ac.jp/naid/80015451739/
DOI 任意 10.1016/S0042-207X(02)00123-9    (→Scopusで検索)
PMID 任意
NAID 任意 80015451739
WOS 任意 000177582000053
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意