徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: [富永 喜久雄]/高尾 俊公/福島 明彦/[森賀 俊広]/[中林 一朗]/Film properties of ZnO:Al films deposited by co-sputtering of ZnO:Al and contaminated Zn targets with Co, Mn and Cr/[Vacuum]

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EID
24614
EOID
876430
Map
0
LastModified
2017年11月28日(火) 17:52:24
Operator
大家 隆弘
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
森賀 俊広
Read
継承
Write
継承
Delete
継承
種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須 英語
招待 推奨
審査 推奨 Peer Review
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
  2. 徳島大学.工学部.化学応用工学科.化学プロセス工学講座
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Takao Toshimasa / (日) 高尾 俊公 / (読) たかお としまさ
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
    適合する可能性のある以下の学生情報を発見しました
    《高尾 俊公 () @ 工学研究科.博士前期課程 [大学院学生] 1999年4月〜2001年3月》
    この情報が学生所属組織の業績等に分類されるためには学籍番号の登録が必要です.テキスト記載の個人が上記に掲げた個人本人ならば,学籍番号の登録を行ってください.(編集画面では学籍番号が表示されます)
  3. (英) Fukushima Akihiko / (日) 福島 明彦 / (読) ふくしま あきひこ
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
    適合する可能性のある以下の学生情報を発見しました
    《福島 明彦 () @ 工学研究科.博士前期課程 [大学院学生] 2000年4月〜2002年3月》
    《福島 明彦 () @ 工学部 [学部学生] 1996年4月〜2000年3月》
    この情報が学生所属組織の業績等に分類されるためには学籍番号の登録が必要です.テキスト記載の個人が上記に掲げた個人本人ならば,学籍番号の登録を行ってください.(編集画面では学籍番号が表示されます)
  4. 森賀 俊広([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.応用化学系.化学プロセス工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.応用化学システムコース.化学プロセス工学講座])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  5. 中林 一朗
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Film properties of ZnO:Al films deposited by co-sputtering of ZnO:Al and contaminated Zn targets with Co, Mn and Cr

副題 任意
要約 任意

(日) ZnO:Al 透明導電膜中へのCo, Mn, Crの混入の影響について調べた.Znを過剰に添加した条件でZnO:Al膜を作製した.Znの過剰添加が抵抗率の減少に効果がある.この膜を100℃,空気中でアニーリングすると急激に3x10^-4 Ωcmから5x10^-4 Ωcmへ増大してしまう.このことはZnO:Al中の酸素欠損がかなり存在し,酸素と簡単に反応してしまうことを示す.Mn, Co, Crを混入することで抵抗率は幾分増大するものの300℃までの安定性は増す.とくにCrの安定性はよい.

キーワード 推奨
  1. (英) conductive transparent film
  2. (英) ZnO : Al
  3. (英) impurity contamination
  4. (英) annealing
発行所 推奨 Elsevier Science
誌名 必須 Vacuum([Elsevier Science])
(pISSN: 0042-207X, eISSN: 1879-2715)
ISSN 任意 0042-207X
ISSN: 0042-207X (pISSN: 0042-207X, eISSN: 1879-2715)
Title: Vacuum
Title(ISO): Vacuum
Publisher: Elsevier Ltd.
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
必須 66
必須 3-4
必須 511 515
都市 任意
年月日 必須 2002年 5月 1日
URL 任意
DOI 任意 10.1016/S0042-207X(02)00124-0    (→Scopusで検索)
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意 2-s2.0-0037136148
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意