徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: [富永 喜久雄]/Kikuma Takuya/[日下 一也]/[英 崇夫]/Energetic oxygen ions in ZrO2 deposition by reactive sputtering of Zr/[Vacuum]

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EID
24611
EOID
876416
Map
0
LastModified
2017年11月28日(火) 17:52:11
Operator
大家 隆弘
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
日下 一也
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Write
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継承
種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須 英語
招待 推奨
審査 推奨 Peer Review
カテゴリ 推奨 研究
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
  2. 徳島大学.工学部.機械工学科.生産システム講座
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Kikuma Takuya
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. 日下 一也([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.生産工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.生産工学講座])
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. 英 崇夫
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Energetic oxygen ions in ZrO2 deposition by reactive sputtering of Zr

副題 任意
要約 任意

(英) The generation of intense flux of energetic oxygen ions in the sputtering of Zr target in Ar+O2 atmosphere is investigated. The energetic negative oxygen ions were detected using a constructed probe. The photoemission intensity of sputtered Zr atoms was observed in order to monitor the surface oxidization of the Zr target. The results indicate that the surface of the Zr target undergoes rapid oxidization during sputtering. The generation of the intense flux of energetic negative oxygen ions is considered to occur as a result of sputtering the heavily oxidized Zr target.

(日) Ar+O2雰囲気でZrターゲットスパッタリング中のエネルギを持った酸素イオンの激しい流れの発生を調べた.負のエネルギを持つ酸素イオンは,constructedプローブを用いて検出される.Zrターゲットの表面酸化を監視するために,スパッタされたZr原子の光電子放出強度を観察した.Zrターゲットの表面はスパッタリング中に急速な酸化を受けることが示された.負のエネルギを持つ酸素イオンの激しい流れの発生は,スパッタリングの結果として,Zrターゲットが激しく酸化することが考えられる.

キーワード 推奨
  1. (英) energetic oxygen
  2. (英) Zr-oxides
  3. (英) film degradation
発行所 推奨
誌名 必須 Vacuum([Elsevier Science])
(pISSN: 0042-207X, eISSN: 1879-2715)
ISSN 任意 0042-207X
ISSN: 0042-207X (pISSN: 0042-207X, eISSN: 1879-2715)
Title: Vacuum
Title(ISO): Vacuum
Publisher: Elsevier Ltd.
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
必須 66
必須 3-4
必須 279 284
都市 任意
年月日 必須 2002年 8月 19日
URL 任意 http://www.sciencedirect.com/science?_ob=ArticleURL&_udi=B6TW4-455VK47-5&_coverDate=08%2F19%2F2002&_alid=193593723&_rdoc=1&_fmt=&_orig=search&_qd=1&_cdi=5552&_sort=d&view=c&_acct=C000008258&_version=1&_urlVersion=0&_userid=106892&md5=9f8aa1cfaf96670e060f0e5f16de1261
DOI 任意 10.1016/S0042-207X(02)00155-0    (→Scopusで検索)
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意 000177582000016
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意