徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

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著作: Yamamoto Hirofumi/[直井 美貴]/[新谷 義廣]/Growth of Diamond Films on Grooved Si Substrates/[Journal of Crystal Growth]

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EID
23909
EOID
879197
Map
0
LastModified
2017年12月10日(日) 18:46:51
Operator
大家 隆弘
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
直井 美貴
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継承
種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. (英) Yamamoto Hirofumi
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. 直井 美貴([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.電気電子系.物性デバイス分野]/[徳島大学.ポストLEDフォトニクス研究所]/[徳島大学.創成科学研究科.理工学専攻.電気電子システムコース(創成科学研究科).物性デバイス講座(創成科学研究科)]/[徳島大学.理工学部.理工学科.電気電子システムコース.物性デバイス講座]/[徳島大学.先端技術科学教育部.システム創生工学専攻.電気電子創生工学コース.物性デバイス講座]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座])
    役割 任意

    (日) 計画,実験,考察,記述

    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. 新谷 義廣
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Growth of Diamond Films on Grooved Si Substrates

副題 任意
要約 任意

(日) 溝つきSi基板上へのダイヤモンド成長について検討した.成長された膜を評価した結果,平滑で高品質なダイヤモンド膜が形成され,成長時間を増加させることにより膜品質が向上することを示した.

キーワード 推奨
  1. (英) growth models
  2. (英) chemical vapor deposition processes
  3. (英) diamond
  4. (英) PLASMA
発行所 推奨
誌名 必須 Journal of Crystal Growth([Elsevier])
(pISSN: 0022-0248)
ISSN 任意 0022-0248
ISSN: 0022-0248 (pISSN: 0022-0248)
Title: Journal of crystal growth
Title(ISO): J Cryst Growth
Publisher: Elsevier BV
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
必須 236
必須 1
必須 176 180
都市 任意
年月日 必須 2002年 2月 1日
URL 任意
DOI 任意 10.1016/S0022-0248(01)01912-1    (→Scopusで検索)
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意 000174437900029
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意