徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: Basak Durga/Yamashita Kenji/Sugahara Tomoya/Nakagawa Daisuke/Fareed RS Qhalid/[西野 克志]/[酒井 士郎]/Selective etching of GaN over AlxGa1-xN using Reactive Ion Plasma of Cl2/CH4/Ar gas Mixture/[Japanese Journal of Applied Physics, Part 1 (Regular Papers & Short Notes)]

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EID
23690
EOID
313365
Map
0
LastModified
2006年11月17日(金) 15:41:29
Operator
高木 真由美
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
酒井 士郎
Read
継承
Write
継承
Delete
継承
種別 必須 学術レター(ショートペーパー)
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. (英) Basak Durga
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Yamashita Kenji
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Sugahara Tomoya
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. (英) Nakagawa Daisuke
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  5. (英) Fareed RS Qhalid
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  6. 西野 克志([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.電気電子系.物性デバイス分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.電気電子システムコース.物性デバイス講座])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  7. 酒井 士郎
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Selective etching of GaN over AlxGa1-xN using Reactive Ion Plasma of Cl2/CH4/Ar gas Mixture

副題 任意
要約 任意
キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 Japanese Journal of Applied Physics, Part 1 (Regular Papers & Short Notes)([応用物理学会])
(resolved by 0021-4922)
ISSN: 0021-4922 (pISSN: 0021-4922, eISSN: 1347-4065)
Title: Japanese journal of applied physics (2008)
Title(ISO): Jpn J Appl Phys (2008)
Supplier: 社団法人応用物理学会
Publisher: Japan Society of Applied Physics
 (NLM Catalog  (Webcat Plus  (Webcat Plus  (Webcat Plus  (Scopus  (Scopus  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
(resolved by 1347-4065)
ISSN: 0021-4922 (pISSN: 0021-4922, eISSN: 1347-4065)
Title: Japanese journal of applied physics (2008)
Title(ISO): Jpn J Appl Phys (2008)
Supplier: 社団法人応用物理学会
Publisher: Japan Society of Applied Physics
 (NLM Catalog  (Webcat Plus  (Webcat Plus  (Webcat Plus  (Scopus  (Scopus  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
ISSN 任意
必須 38
必須 1A
必須 42 43
都市 任意
年月日 必須 1999年 2月 1日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意