徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

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著作: Basak Durga/[西野 克志]/Fareed RS Qhalid/[酒井 士郎]/Characterization of RIE etched surface of GaN using methane gas with chlorine plasma/[Journal of Vacuum Science & Technology B]

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EID
23673
EOID
938322
Map
0
LastModified
2019年2月1日(金) 10:36:56
Operator
三木 ちひろ
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
酒井 士郎
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Write
継承
Delete
継承
種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. (英) Basak Durga
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. 西野 克志([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.電気電子系.物性デバイス分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.電気電子システムコース.物性デバイス講座])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Fareed RS Qhalid
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. 酒井 士郎
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Characterization of RIE etched surface of GaN using methane gas with chlorine plasma

副題 任意
要約 任意
キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 Journal of Vacuum Science & Technology B(American Vacuum Society)
(resolved by 1071-1023)
ISSN: 1071-1023 (pISSN: 1071-1023, eISSN: 0734-211X)
Title: Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures : processing, measurement, and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society
Title(ISO): J Vac Sci Technol B Microelectron Nanometer Struct Process Meas Phenom
Publisher: American Institute of Physics
 (NLM Catalog  (Scopus  (Scopus  (CrossRef  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
(resolved by 0734-211X)
ISSN: 1071-1023 (pISSN: 1071-1023, eISSN: 0734-211X)
Title: Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures : processing, measurement, and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society
Title(ISO): J Vac Sci Technol B Microelectron Nanometer Struct Process Meas Phenom
Publisher: American Institute of Physics
 (NLM Catalog  (Scopus  (Scopus  (CrossRef  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
ISSN 任意
必須 18
必須 5
必須 2491 2494
都市 任意
年月日 必須 2000年 1月 1日
URL 任意
DOI 任意 10.1116/1.1289551    (→Scopusで検索)
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意 2-s2.0-0034266834
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意