徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: [富永 喜久雄]/喜久間 拓也/[日下 一也]/[英 崇夫]/Energetic oxygen ions in ZrO2 deposition by reactive sputtering of Zr/Proc. 6th International Symposium on Sputtering &Plasma Processes

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EID
22401
EOID
707242
Map
0
LastModified
2013年8月27日(火) 11:54:13
Operator
三木 ちひろ
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
日下 一也
Read
継承
Write
継承
Delete
継承
種別 必須 国際会議
言語 必須 英語
招待 推奨
審査 推奨 Peer Review
カテゴリ 推奨 研究
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Kikuma Takuya / (日) 喜久間 拓也 / (読) きくま たくや
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
    適合する可能性のある以下の学生情報を発見しました
    《喜久間 拓也 () @ 工学研究科.博士前期課程 [大学院学生] 2000年4月〜2002年3月》
    《喜久間 拓也 () @ 工学部 [学部学生] 1996年4月〜2000年3月》
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  3. 日下 一也([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.生産工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.生産工学講座])
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. 英 崇夫
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Energetic oxygen ions in ZrO2 deposition by reactive sputtering of Zr

副題 任意
要約 任意

(日) Ar+O2中のZrの反応性スパッタにおいて強い高速酸素が生成することを見出した.これはZrターゲット表面は酸素雰囲気中で,ターゲットの一部が酸化されている状態の金属モードでのスパッタでは急激に酸化が進むことを示す.また,ターゲット表面全体が酸化されている酸化モードのスパッタでは,非常に厚い酸化膜層が形成されていることを示す.

キーワード 推奨
発行所 推奨 (英) ISSP2001
誌名 必須 (英) Proc. 6th International Symposium on Sputtering &Plasma Processes
ISSN 任意
必須
必須
必須 434 437
都市 必須 金沢(Kanazawa/[日本国])
年月日 必須 2001年 6月 13日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意