徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: [富永 喜久雄]/喜久間 拓也/Energetic oxygen ions in the reactive sputtering of the Zr target in Ar+O2 atmosphere/[Journal of Vacuum Science & Technology A]

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EID
22395
EOID
854515
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0
LastModified
2017年4月30日(日) 18:27:51
Operator
大家 隆弘
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TRUE
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0
Owner
[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]
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種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Kikuma Takuya / (日) 喜久間 拓也 / (読) きくま たくや
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
    適合する可能性のある以下の学生情報を発見しました
    《喜久間 拓也 () @ 工学部 [学部学生] 1996年4月〜2000年3月》
    《喜久間 拓也 () @ 工学研究科.博士前期課程 [大学院学生] 2000年4月〜2002年3月》
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題名 必須

(英) Energetic oxygen ions in the reactive sputtering of the Zr target in Ar+O2 atmosphere

副題 任意
要約 任意

(日) Ar+O2のガスの中でZrをスパッタするとき,Znのスパッタ」と比べ非常に強い高速酸素イオン束が発生する.また,高速酸素とスパッタ金属の実験データは酸素分圧の増大とともに,ある酸素分圧まではZr とZn とでは同様な振る舞いを示す.しかし,それ以上の酸素分圧の上昇では,高速酸素はZnの場合一定値に落ち着くのに対して,Zrの場合はさらに上昇する.スパッタ金属はいずれの場合も同じである.このような結果は,Zr表面全体が酸化膜で覆われた後も,さらに内部へ向かって酸化が進んでいくことで説明できる.

キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 Journal of Vacuum Science & Technology A(American Vacuum Society/[American Institute of Physics])
(pISSN: 0734-2101, eISSN: 1520-8559)
ISSN 任意 0734-2101
ISSN: 0734-2101 (pISSN: 0734-2101, eISSN: 1520-8559)
Title: Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films : an official journal of the American Vacuum Society
Title(ISO): J Vac Sci Technol A
Publisher: American Institute of Physics
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
必須 19
必須
必須 1582 1585
都市 任意
年月日 必須 2001年 1月 1日
URL 任意
DOI 任意 10.1116/1.1368664    (→Scopusで検索)
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意