徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: 松英 達也/[英 崇夫]/池内 保一/アーク·イオンプレーティング法によるTiN膜の結晶状態に対する成膜条件の影響/[材料]

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EID
20145
EOID
1057960
Map
0
LastModified
2022年8月30日(火) 19:25:50
Operator
大家 隆弘
Avail
TRUE
Censor
承認済
Owner
[学科長]/[徳島大学.工学部.機械工学科]
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種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨 Peer Review
カテゴリ 推奨 研究
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.機械工学科.生産システム講座(〜2023年3月31日)
著者 必須
  1. (日) 松英 達也
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. 英 崇夫
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (日) 池内 保一
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Effect of Processing Conditions on Structure of TiN Films Deposited by Arc Ion Plating

(日) アーク·イオンプレーティング法によるTiN膜の結晶状態に対する成膜条件の影響
副題 任意
要約 任意

(日) アークイオンプレーティングの蒸着条件がTiN膜の結晶構造に及ぼす影響をX線回折法により検討した研究である．バイアス電圧とアーク電流を変化させ，Tin膜の結晶構造に及ぼす影響を調べた．TiN膜の結晶構造は主としてバイアス電圧に影響される．0Vのとき，TiN膜は{110}配向し，-100Vでは{111}配向した．これに対して，アーク電流は結晶配向性にはほとんど影響しない． 窒素とチタンの成分比をXPSにより測定した結果，N/Ti比の最大値は0.89であり，そのとき膜は{110}および{111}の混合配となった．
キーワード 推奨
発行所 推奨 日本材料学会
誌名 必須 材料([日本材料学会])
(pISSN: 0514-5163, eISSN: 1880-7488)
ISSN 任意 0514-5163
ISSN: 0514-5163 (pISSN: 0514-5163, eISSN: 1880-7488)
Title: 材料
Supplier: 社団法人日本材料学会
Publisher: Society of Materials Science Japan
 (Webcat Plus)   (J-STAGE)   (Scopus)   (CrossRef)  (Scopus information is found. [need login])
巻 必須 50
号 必須 7
頁 必須 707 712
都市 任意 京都(Kyoto/[日本国])
年月日 必須 2001年 7月 1日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
CRID 任意
Scopus 任意 2-s2.0-0035387628
researchmap 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意