著作: Marcinkevicius, Andrius/[ヨードカシス サウリウス]/Watanabe, Mitsuru/[三輪 昌史]/[松尾 繁樹]/[三澤 弘明]/Nishii, J./Femtosecond Laser-Assisted Three-Dimensional Microfabrication in Silica/[Optics Letters]
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| 言語 | 必須 | 英語 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 招待 | 推奨 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 審査 | 推奨 | Peer Review | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| カテゴリ | 推奨 | 研究 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 共著種別 | 推奨 | 国内共著(徳島大学内研究者と国内(学外)研究者との共同研究 (国外研究者を含まない)) | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 学究種別 | 推奨 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 組織 | 推奨 |
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| 著者 | 必須 |
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| 題名 | 必須 |
(英) Femtosecond Laser-Assisted Three-Dimensional Microfabrication in Silica |
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| 副題 | 任意 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 要約 | 任意 |
(英) We demonstrate direct three-dimensional (3-D) microfabrication inside a volume of silica glass. The whole fabrication process was carried out in two steps:(i) writing of the preprogrammed 3-D pattern inside silica glass by focused femtosecond (fs) laser pulses and (ii) etching of the written structure in a 5% aqueous solution of HF acid. This technique allows fabrication of 3-D channels as small as 10mum in diameter inside the volume with any angle of interconnection and a high aspect ratio (10mum -diameter channels in a 100mum -thick silica slab). (日) シリカガラス中に集光フェムト秒レーザーを照射すると，照射部位の化学的特性が変化し，未照射部分に比べフッ酸に対するエッチング耐性が低くなることを見いだした．また，この現象を用いてガラス基板を貫通するマイクロチャンネルの作製にも成功した． |
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| キーワード | 推奨 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 発行所 | 推奨 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 誌名 | 必須 |
Optics Letters([Optical Society of America])
(pISSN: 0146-9592, eISSN: 1539-4794)
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| 巻 | 必須 | 26 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 号 | 必須 | 5 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 頁 | 必須 | 277 279 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 都市 | 任意 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 年月日 | 必須 | 2001年 3月 1日 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| URL | 任意 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| DOI | 任意 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| PMID | 任意 | 18040300 (→Scopusで検索) | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| CRID | 任意 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Scopus | 任意 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| researchmap | 任意 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 評価値 | 任意 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 被引用数 | 任意 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 指導教員 | 推奨 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 備考 | 任意 |
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