徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: Marcinkevicius, Andrius/[ヨードカシス サウリウス]/Watanabe, Mitsuru/[三輪 昌史]/[松尾 繁樹]/[三澤 弘明]/Nishii, J./Femtosecond Laser-Assisted Three-Dimensional Microfabrication in Silica/[Optics Letters]

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EID
19973
EOID
933933
Map
0
LastModified
2018年12月3日(月) 13:47:24
Operator
大家 隆弘
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
三輪 昌史
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継承
種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須 英語
招待 推奨
審査 推奨 Peer Review
カテゴリ 推奨 研究
共著種別 推奨 国内共著(徳島大学内研究者と国内(学外)研究者との共同研究 (国外研究者を含まない))
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 資源循環工学講座(〜2014年3月31日)
  2. 徳島大学.工学部.機械工学科.機械科学講座
著者 必須
  1. (英) Marcinkevicius, Andrius
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. ヨードカシス サウリウス([北海道大学])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Watanabe, Mitsuru
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. 三輪 昌史([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.知能機械学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.知能機械学講座])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  5. 松尾 繁樹
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  6. 三澤 弘明([北海道大学])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  7. (英) Nishii, J.
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Femtosecond Laser-Assisted Three-Dimensional Microfabrication in Silica

副題 任意
要約 任意

(英) We demonstrate direct three-dimensional (3-D) microfabrication inside a volume of silica glass. The whole fabrication process was carried out in two steps:(i) writing of the preprogrammed 3-D pattern inside silica glass by focused femtosecond (fs) laser pulses and (ii) etching of the written structure in a 5% aqueous solution of HF acid. This technique allows fabrication of 3-D channels as small as 10mum in diameter inside the volume with any angle of interconnection and a high aspect ratio (10mum -diameter channels in a 100mum -thick silica slab).

(日) シリカガラス中に集光フェムト秒レーザーを照射すると,照射部位の化学的特性が変化し,未照射部分に比べフッ酸に対するエッチング耐性が低くなることを見いだした.また,この現象を用いてガラス基板を貫通するマイクロチャンネルの作製にも成功した.

キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 Optics Letters([Optical Society of America])
(pISSN: 0146-9592, eISSN: 1539-4794)
ISSN 任意 0146-9592
ISSN: 0146-9592 (pISSN: 0146-9592, eISSN: 1539-4794)
Title: Optics letters
Title(ISO): Opt Lett
Publisher: Optical Society of America
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
必須 26
必須 5
必須 277 279
都市 任意
年月日 必須 2001年 3月 1日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意 18040300    (→Scopusで検索)
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意 2-s2.0-0037489260
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意
  1. (英) Article.PublicationTypeList.PublicationType: Journal Article