徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

1. 講義形式とポートフォーリオ形式の併用

(英) The lecture aims to understand electronic, atomic and molecular collision processes in gases and solids and to present their various applications.

(日) 気体および固体内の電子，原子，分子の衝突過程を理解し，そのさまざまな応用についての知識を得る．

(英) 1) Electronic, atomic and molecular collisions in gases and solid. Plasma physics and chemistry. Surface and materials science related to plasma-solid interactions. 2) Application to material processing technologies for electronic devices. Plasma-wall interactions in controlled thermonuclear fusion devices.

(日) 1)気体および固体内の電子，原子，分子の衝突過程について述べ，それらのプラズマ物理学，プラズマ化学，表面科学，材料科学などとの関連について講義する．2)プラズマ材料デバイスプロセスへの応用，核融合プラズマ·壁相互作用について紹介する．

1. プラズマ(plasma)
2. (英) collision theory / (日) 衝突理論
3. (英) plasma-surface interaction / (日) プラズマ·表面相互作用
4. (英) plasma applications / (日) プラズマ応用

1. (英) Understanding on collision processes in gases and solids

   (日) 気体および固体内の電子，原子，分子の衝突過程を理解する．

2. (英) Understanding on applications to material processing technologies and plasma-wall interactions in controlled thermonuclear fusion devices.

   (日) プラズマ材料デバイスプロセス，核融合装置におけるプラズマ·壁相互作用について理解する．

1. (英) Introduction to collision theory

   (日) 衝突理論の初歩

2. (英) Interaction potential

   (日) 相互作用ポテンシャル

3. (英) Elastic collision and nuclear stopping power

   (日) 弾性衝突と核的阻止能

4. (英) Inelastic collision and electronic stopping power

   (日) 非弾性衝突と電子的阻止能

5. (英) Inelastic processes in gases

   (日) 気体中の非弾性衝突過程

6. (英) Electron and Ion transport in gases

   (日) 気体中の電子とイオンの輸送

7. (英) Reflection and thermal re-emission from solids

   (日) 固体表面でのイオン反射と再放出

8. (英) Collision mixing and diffusions in solids

   (日) 固体内の衝突ミキシングと拡散

9. (英) Physical sputtering and chemical sputtering

   (日) 物理スパッタリングと化学スパッタリング

10. (英) Plasma chemical vapor deposition deposition

    (日) プラズマCVD

11. (英) Plasma-assisted etching

    (日) プラズマ·エッチング

12. (英) Other applications to material device processing

    (日) その他の材料デバイスプロセスへの応用

13. (英) Plasma-wall interactions in nuclear fusion devices

    (日) 核融合装置におけるプラズマ·壁相互作用

14. (英) Edge plasma physics

    (日) 周辺プラズマ物理

15. (英) Hydrogen recycling and material erosion

    (日) 水素リサイクリングと材料損耗

16. (英) Conclusions and future problems

    (日) まとめと今後の課題

1. 大宅 薫

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