徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: [川上 烈生]/Takeshi Inaoka/[富永 喜久雄]/Takashi Mukai/Effects of Capacitively Coupled Radio Frequency Krypton and Argon Plasmas on Gallium Nitride Etching Damage/Proceedings of International Symposium of Dry Process 2008

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EID
186925
EOID
492200
Map
0
LastModified
2009年12月14日(月) 15:01:02
Operator
山田 美緒
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
川上 烈生
Read
継承
Write
継承
Delete
継承
種別 必須 国際会議
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. 川上 烈生([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.電気電子系.物性デバイス分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.電気電子システムコース.物性デバイス講座])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Takeshi Inaoka
    データベース中に適合する可能性のある以下の情報を発見しました
    [個人] 稲岡 武
    この情報が上記に掲げた個人の業績等に分類されるためには参照登録が必要です.上記に掲げた個人本人に該当する場合には参照登録に変更してください.
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. (英) Takashi Mukai
    データベース中に適合する可能性のある以下の情報を発見しました
    [個人] 向井 孝志 ([日亜化学工業株式会社])
    この情報が上記に掲げた個人の業績等に分類されるためには参照登録が必要です.上記に掲げた個人本人に該当する場合には参照登録に変更してください.
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Effects of Capacitively Coupled Radio Frequency Krypton and Argon Plasmas on Gallium Nitride Etching Damage

副題 任意
要約 任意
キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 (英) Proceedings of International Symposium of Dry Process 2008
ISSN 任意
必須 ---
必須 ---
必須 187 188
都市 必須 (英) Tokyo
データベース中に適合する可能性のある以下の情報を発見しました
[都市] 東京 (Tokyo/[日本国])
年月日 必須 2008年 11月 27日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意