徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

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著作: [川上 烈生]/稲岡 武/[富永 喜久雄]/向井 孝志/GaNエッチングダメージへのアルゴンプラズマ粒子と紫外放射光のシナジー効果/第69回秋季応用物理学会学術講演会論文集

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EID
186924
EOID
617427
Map
0
LastModified
2011年9月26日(月) 08:16:57
Operator
川上 烈生
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
川上 烈生
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Write
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継承
種別 必須 国内講演発表
言語 必須 日本語
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. 川上 烈生([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.電気電子系.物性デバイス分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.電気電子システムコース.物性デバイス講座])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (日) 稲岡 武
    データベース中に適合する可能性のある以下の情報を発見しました
    [個人] 稲岡 武
    この情報が上記に掲げた個人の業績等に分類されるためには参照登録が必要です.上記に掲げた個人本人に該当する場合には参照登録に変更してください.
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. 富永 喜久雄
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. (日) 向井 孝志
    データベース中に適合する可能性のある以下の情報を発見しました
    [個人] 向井 孝志 ([日亜化学工業株式会社])
    この情報が上記に掲げた個人の業績等に分類されるためには参照登録が必要です.上記に掲げた個人本人に該当する場合には参照登録に変更してください.
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(日) GaNエッチングダメージへのアルゴンプラズマ粒子と紫外放射光のシナジー効果

副題 任意
要約 任意
キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 (日) 第69回秋季応用物理学会学術講演会論文集
ISSN 任意
必須 ---
必須 1
必須 175 175
都市 必須 (日) 日本
年月日 必須 2008年 9月 3日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意