徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: [川上 烈生]/島田 朋尚/Akinobu Kuwahara/[富永 喜久雄]/Takashi Mukai/Synergy Effect of Particle Radiation and Ultraviolet Radiation from Capacitively Coupled Radio Frequency Argon Plasmas on n-GaN Etching Damage/[Japanese Journal of Applied Physics, Part 1 (Regular Papers & Short Notes)]

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EID
186917
EOID
954396
Map
0
LastModified
2019年8月10日(土) 21:14:57
Operator
大家 隆弘
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
川上 烈生
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種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須 英語
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. 川上 烈生([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.電気電子系.物性デバイス分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.電気電子システムコース.物性デバイス講座])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Takeshi Inaoka / (日) 島田 朋尚 / (読) しまだともひさ
    データベース中に適合する可能性のある以下の情報を発見しました
    [個人] 稲岡 武
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    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Akinobu Kuwahara
    データベース中に適合する可能性のある以下の情報を発見しました
    [個人] 桑原 明伸 ([徳島大学.工学部.電気電子工学科]/[徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.総合技術センター.計測・制御技術分野])
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    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. 富永 喜久雄
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  5. (英) Takashi Mukai
    データベース中に適合する可能性のある以下の情報を発見しました
    [個人] 向井 孝志 ([日亜化学工業株式会社])
    この情報が上記に掲げた個人の業績等に分類されるためには参照登録が必要です.上記に掲げた個人本人に該当する場合には参照登録に変更してください.
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Synergy Effect of Particle Radiation and Ultraviolet Radiation from Capacitively Coupled Radio Frequency Argon Plasmas on n-GaN Etching Damage

副題 任意
要約 任意

(英) The change in the morphology of n-GaN surfaces etched by capacitively coupled RF Ar plasmas has been studied from the viewpoint of a synergy effect of particle radiation and UV radiation from the RF plasmas. The particle radiation (in particular, the energy of Ar+ impinging on n-GaN) is intensified with decreasing gas pressure from 200 to 10 mTorr, whereas the intensity of the UV radiation (whose peak wavelength corresponds to the GaN band-gap energy) is significantly weakened. The reverse result occurs when the gas pressure increases. Each type of radiation brings about a smooth surface morphology similar to that of the as-grown surface. However, at 50 or 100 mTorr, at which both types of radiation are expected to coexist, the surface morphology shows various types of pits (defects or dislocations), which seem to be induced by the synergy effect.

キーワード 推奨
  1. (英) RF plasmas
  2. (英) argon
  3. (英) n-GaN
    データベース中に適合する可能性のある以下の情報を発見しました
    [キーワード] オルガネラ (organelle/->キーワード[細胞小器官])
    [キーワード] 器官 (organ)
    [キーワード] 細胞小器官 (organelle)
    [キーワード] 残留性有機汚染物質 (persistent organic pollutants)
    [キーワード] 自己組織化 (self-organization)
    [キーワード] 自己組織化写像 (self-organizing map)
    [キーワード] 消化器 (digestive organ)
    [キーワード] 組織 (organization)
    [キーワード] 多臓器不全 (multiple organ failure)
    [キーワード] 窒化ガリウム (gallium nitride)
    [キーワード] 配位子場理論 (ligand field theory)
    [キーワード] 微生物 (microorganism)
    [キーワード] 病原微生物 (pathogenic microorganism)
    [キーワード] 無機 (inorganic)
    [キーワード] 無機化学 (inorganic chemistry)
    [キーワード] 無機材料 (inorganic materials)
    [キーワード] 有機 (organic)
    [キーワード] 有機化学 (organic chemistry)
    [キーワード] 有機合成 (organic synthesis)
    [キーワード] 有機合成化学 (organic synthetic chemistry)
    [キーワード] 有機材料 (organic materials)
    [キーワード] 有機分子触媒 (organocatalysts)
  4. (英) plasma etching
  5. (英) surface morphology
発行所 推奨 物理系学術誌刊行協会
誌名 必須 Japanese Journal of Applied Physics, Part 1 (Regular Papers & Short Notes)([応用物理学会])
(pISSN: 0021-4922, eISSN: 1347-4065)
ISSN 任意 0021-4922
ISSN: 0021-4922 (pISSN: 0021-4922, eISSN: 1347-4065)
Title: Japanese journal of applied physics (2008)
Title(ISO): Jpn J Appl Phys (2008)
Supplier: 社団法人応用物理学会
Publisher: Japan Society of Applied Physics
 (NLM Catalog  (Webcat Plus  (Webcat Plus  (Webcat Plus  (Scopus  (Scopus  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
必須 47
必須 8
必須 6863 6866
都市 任意 東京(Tokyo/[日本国])
年月日 必須 2008年 7月 10日
URL 任意 http://ci.nii.ac.jp/naid/150000051237/
DOI 任意 10.1143/JJAP.47.6863    (→Scopusで検索)
PMID 任意
NAID 任意 40016211119
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意