徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: [富永 喜久雄]/Umezu Norio/Mori Ichiro/Ushiro Tomoko/[森賀 俊広]/[中林 一朗]/Transparent conductive ZnO film preparation by alternative sputtering of ZnO:Al target and either Zn or Al targets/[Thin Solid Films]

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EID
18316
EOID
707260
Map
0
LastModified
2013年8月27日(火) 12:00:45
Operator
三木 ちひろ
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
森賀 俊広
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Write
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継承
種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
  2. 徳島大学.工学部.化学応用工学科.化学プロセス工学講座
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Umezu Norio
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Mori Ichiro
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. (英) Ushiro Tomoko
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  5. 森賀 俊広([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.応用化学系.化学プロセス工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.応用化学システムコース.化学プロセス工学講座])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  6. 中林 一朗
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Transparent conductive ZnO film preparation by alternative sputtering of ZnO:Al target and either Zn or Al targets

副題 任意
要約 任意

(日) 本論文は,透明導電膜であるZnO:Al膜作製におけるZnの過剰添加の効果をしらべる一連の研究の中で,ZnO:AlとZnO:OVを層状にしたとき,どのような電気的,光学的特性になるのかについて検討したものである.結果は,ZnO:Alの結晶粒成長が促進され,それに並行してキャリア密度密度と移動度の増大し,光透過率も改善された.酸化アルミニウムをZnO:Alに挟む場合は,Al2O3の膜厚の増加とともにキャリア密度,移動度は減少し,抵抗率は増加した.界面でのキャリアの散乱によるものと考えられる.

キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 Thin Solid Films([Elsevier])
(resolved by 0040-6090)
ISSN: 0040-6090 (pISSN: 0040-6090)
Title: Thin solid films
Title(ISO): Thin Solid Films
Publisher: Elsevier Sequoia
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
ISSN 任意
必須 334
必須
必須 35 39
都市 任意
年月日 必須 1998年 9月 1日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意