徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: [富永 喜久雄]/Mori Ichiro/Relation between the flux of energetic oxygen ions and the sputtered metal atoms in oxide film deposition by reactive sputtering/[Vacuum]

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EID
17968
EOID
732213
Map
0
LastModified
2014年4月30日(水) 10:37:50
Operator
松井 栄里
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]
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種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Mori Ichiro
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Relation between the flux of energetic oxygen ions and the sputtered metal atoms in oxide film deposition by reactive sputtering

副題 任意
要約 任意

(日) ZnターゲットをAr+O2中で反応性スパッタをするときに発生する高速酸素イオンとスパッタされたZn原子の関係を調べた.高速酸素負イオンとターゲット表面の酸化の度合いは酸素分圧の増加とともに増す.高速酸素負イオンとスパッタされたZnとは密接に関係がある.実験データは高速酸素がZn ターゲットの酸化領域から生成するという単純なモデルから理論的に導かれる式でうまくフィティングできる.反応性スパッタリングにおける高速酸素生成機構の基礎的な理論を構築した.

キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 Vacuum([Elsevier Science])
(resolved by 0042-207X)
ISSN: 0042-207X (pISSN: 0042-207X, eISSN: 1879-2715)
Title: Vacuum
Title(ISO): Vacuum
Publisher: Elsevier Ltd.
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
(resolved by 1879-2715)
ISSN: 0042-207X (pISSN: 0042-207X, eISSN: 1879-2715)
Title: Vacuum
Title(ISO): Vacuum
Publisher: Elsevier Ltd.
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
ISSN 任意
必須 59
必須 2
必須 574 580
都市 任意
年月日 必須 2000年 1月 1日
URL 任意
DOI 任意 10.1016/S0042-207X(00)00318-3    (→Scopusで検索)
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意 000165157100028
Scopus 任意 2-s2.0-0346056164
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意