徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: 菊地 邦友/土谷 茂樹/[三輪 昌史]/安積 欣志/フォトリソグラフィー技術を用いた固体高分子電解質膜へのパターン電極形成/[精密工学会誌]

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EID
178171
EOID
725351
Map
0
LastModified
2014年2月26日(水) 20:14:11
Operator
大家 隆弘
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
三輪 昌史
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種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須 日本語
招待 推奨
審査 推奨 Peer Review
カテゴリ 推奨 研究
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 和歌山大学
  2. 和歌山大学
  3. 徳島大学
  4. 独立行政法人 産業技術総合研究所
著者 必須
  1. (英) Kunitomo Kikuchi / (日) 菊地 邦友
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Shigeki Tuchitani / (日) 土谷 茂樹
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. 三輪 昌史([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.知能機械学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.知能機械学講座])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. (英) Kinji Asaka / (日) 安積 欣志
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Formation of Patterned Electrode on Solid Polymer Electrolyte using Photolithography Technique

(日) フォトリソグラフィー技術を用いた固体高分子電解質膜へのパターン電極形成

副題 任意
要約 任意

(英) An Ionic Polymer-Metal Composite (IPMC) consists of a thin ionomeric membrane with noble metal electrodes formed on both surfaces. IPMCs have a potential as soft robotic actuators and artificial muscles with several advantages such as flexibility, light weight, and low driving voltages. Highly durable IPMCs will be fabricated using an electroless chemical plating technique to form metal electrodes. In this study, a fabrication method for patterning electrodes with a size of several micrometers has been developed to realize IPMCs, which will be capable of a peristaltic movement. A selective electroless gold plating and an epoxy-resin based photoresist are applied for patterning electrodes. By using a photomask with a pattern-size of 50 μn, patterned electrodes are formed on an ionomer (Nafion) membrane, resulting in the size of 65 μm. This pattern size is much smaller than that in conventional patterning methods using a selective electroless plating technique and masking tapes or stencil masks. The sheet resistance of the fabricated electrodes is lower than 30 Ω/ , which is almost same order of magnitude as that of electrodes formed by the conventional electroless plating without photolithography.

キーワード 推奨
  1. (英) Solid polymer electrolyte
  2. (英) Photolithography
  3. (英) Electroless plating
  4. (英) IPMC
  5. (英) Patterned electrode
発行所 推奨 社団法人 精密工学会
誌名 必須 精密工学会誌([社団法人 精密工学会])
(pISSN: 0912-0289, eISSN: 1882-675X)
ISSN 任意 0912-0289
ISSN: 0912-0289 (pISSN: 0912-0289, eISSN: 1882-675X)
Title: 精密工学会誌
Supplier: 公益社団法人精密工学会
Publisher: Seimitsu Kogakkai/The Japan Society for Precision Engineering
 (Webcat Plus  (J-STAGE  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
必須 74
必須 7
必須 719 723
都市 任意
年月日 必須 2008年 7月 5日
URL 任意 http://ci.nii.ac.jp/naid/110006827292/
DOI 任意 10.2493/jjspe.74.719    (→Scopusで検索)
PMID 任意
NAID 任意 110006827292
WOS 任意
Scopus 任意 2-s2.0-77955373415
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意