徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: [英 崇夫]/[富永 喜久雄]/藤原 晴夫/c軸配向した窒化アルミニウム膜のX線的残留応力解析/[材料]

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EID
17548
EOID
1034757
Map
0
LastModified
2022年5月5日(木) 19:46:35
Operator
[ADMIN]
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TRUE
Censor
承認済
Owner
[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]
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種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須 日本語
招待 推奨
審査 推奨 Peer Review
カテゴリ 推奨 研究
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.機械工学科.生産システム講座(〜2023年3月31日)
  2. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座(〜2023年3月31日)
著者 必須
  1. 英 崇夫
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (日) 藤原 晴夫
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(日) c軸配向した窒化アルミニウム膜のX線的残留応力解析
副題 任意
要約 任意

(日) 優れた耐熱性や熱伝導特性また圧電特性などで高温材料として，また表面弾性波素子への応用に有望とされるAlN膜に対する新しいX線残留応力解析法を提案した．ガラス基板上にスパッタリング法で作成したAlN膜は極めて強いc軸配向性を有し，通常のX線応力解析法の適用はまったく不可能である．低回折角度領域での格子ひずみ測定の可能な側傾法を利用し，c軸に対して傾いた方向に法線をもつ種々の(hkl)面の格子ひずみを測定する新しい解析法を提案した．この方法により，X線応力測定としては極めて不利な条件にあるc軸配向AlN膜の残留応力測定が可能になった．
キーワード 推奨
  1. X線応力測定(X-ray stress measurement)
  2. (英) AIN films
  3. (英) Preferred orientation
  4. (英) C-axix orientation
発行所 推奨 日本材料学会
誌名 必須 材料([日本材料学会])
(pISSN: 0514-5163, eISSN: 1880-7488)
ISSN 任意 0514-5163
ISSN: 0514-5163 (pISSN: 0514-5163, eISSN: 1880-7488)
Title: 材料
Supplier: 社団法人日本材料学会
Publisher: Society of Materials Science Japan
 (Webcat Plus)   (J-STAGE)   (Scopus)   (CrossRef)  (Scopus information is found. [need login])
巻 必須 42
号 必須 472
頁 必須 90 95
都市 任意
年月日 必須 1992年 1月 1日
URL 任意 http://ci.nii.ac.jp/naid/110002298851/
DOI 任意 10.2472/jsms.42.90    (→Scopusで検索)
PMID 任意
CRID 任意 1390001205393618304
NAID 110002298851
WOS 任意
Scopus 任意
researchmap 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意