徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

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著作: [富永 喜久雄]/Sato Yoshifumi/Murayama Kazutaka/Mori Ichiro/Relation between the flux of Energetic oxygen ions and thesputtered metal atoms in oxide film deposition by reactive sputtering/Proceedings of the fifth International Symposium on Sputtering and Plasma Process

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EID
16845
EOID
707208
Map
0
LastModified
2013年8月27日(火) 11:39:59
Operator
三木 ちひろ
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TRUE
Censor
0
Owner
[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]
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種別 必須 国際会議
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Sato Yoshifumi
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Murayama Kazutaka
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. (英) Mori Ichiro
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Relation between the flux of Energetic oxygen ions and thesputtered metal atoms in oxide film deposition by reactive sputtering

副題 任意
要約 任意

(日) 反応性スパッタリングによる酸化物スパッタ膜作製における高速酸素イオンとスパッタされた金属原子の関係について調べた.酸素分圧の増加とともに,高速酸素原子とZnターゲットの酸化度は増大した.この結果は,高速酸素はターゲットの酸化領域のスパッタで生じていることを示す.また,スパッタされたZn原子からのフォトルミネッセンスは未酸化のZn領域のスパッタで生ずる.Znの酸化メカニズムは縞状酸化領域の数が酸素分圧に比例し,その縞状領域の酸化速度はその領域に入射する酸素イオン束に比例するというモデルで実験結果をうまく説明できることを示した.

キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 (英) Proceedings of the fifth International Symposium on Sputtering and Plasma Process
ISSN 任意
必須 ---
必須 ---
必須 28 29
都市 必須 金沢(Kanazawa/[日本国])
年月日 必須 1999年 6月 18日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意