徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: [富永 喜久雄]/Murayama Kazutaka/Mori Ichiro/Ushiro Tomoko/Hiruta Kazunori/[森賀 俊広]/[中林 一朗]/Conductive transparent films deposited by simultaneous sputtering of zinc-oxide and indium-oxide targets/Proceedings of the fifth International Symposium on Sputtering and Plasma Process

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EID
16844
EOID
707262
Map
0
LastModified
2013年8月27日(火) 12:00:45
Operator
三木 ちひろ
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
森賀 俊広
Read
継承
Write
継承
Delete
継承
種別 必須 国際会議
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
  2. 徳島大学.工学部.化学応用工学科.化学プロセス工学講座
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Murayama Kazutaka
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Mori Ichiro
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. (英) Ushiro Tomoko
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  5. (英) Hiruta Kazunori
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  6. 森賀 俊広([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.応用化学系.化学プロセス工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.応用化学システムコース.化学プロセス工学講座])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  7. 中林 一朗
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Conductive transparent films deposited by simultaneous sputtering of zinc-oxide and indium-oxide targets

副題 任意
要約 任意

(日) 本論文では,透明電極への応用が期待されるZnO-In2O3系の薄膜の結晶状態と電気的,光学的特性の基板温度依存性について調べたものである.そのとき,ZnOとIn2O3ターゲットのスパッタ電流を変えることで,広い組成変化について実験的に調べることができた.150℃以下の低温ではアモルファス相の低抵抗膜が得られており,応用面で有望であることがわかった.高温基板上では,ある組成比においてホモロガス結晶相が現れ,この相も低抵抗の透明導電膜になりうる.

キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 (英) Proceedings of the fifth International Symposium on Sputtering and Plasma Process
ISSN 任意
必須 ---
必須 ---
必須 235 236
都市 必須 金沢(Kanazawa/[日本国])
年月日 必須 1999年 6月 16日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意