徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

徳島大学ウェブサイトへのリンク

著作: [富永 喜久雄]/Murayama Kazutaka/Mori Ichiro/Okamoto Takashi/Hiruta Kazunori/[森賀 俊広]/[中林 一朗]/Conductive transparent films deposited by simultaneous sputtering of zinc-oxide and indium-oxide targets/[Vacuum]

ヘルプを読む

「著作」(著作(著書,論文,レター,国際会議など))は,研究業績にかかる著作(著書,論文,レター,国際会議など)を登録するテーブルです. (この情報が属するテーブルの詳細な定義を見る)

  • 項目名の部分にマウスカーソルを置いて少し待つと,項目の簡単な説明がツールチップ表示されます.

この情報をEDB閲覧画面で開く

EID
16735
EOID
732212
Map
0
LastModified
2014年4月30日(水) 10:36:41
Operator
松井 栄里
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
森賀 俊広
Read
継承
Write
継承
Delete
継承
種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
  2. 徳島大学.工学部.化学応用工学科.化学プロセス工学講座
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Murayama Kazutaka
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Mori Ichiro
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. (英) Okamoto Takashi
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  5. (英) Hiruta Kazunori
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  6. 森賀 俊広([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.応用化学系.化学プロセス工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.応用化学システムコース.化学プロセス工学講座])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  7. 中林 一朗
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Conductive transparent films deposited by simultaneous sputtering of zinc-oxide and indium-oxide targets

副題 任意
要約 任意

(日) ZnOとIn2O3の2つのターゲットを同時スパッタすることでZnO-In2O3の2元系酸化物のスパッタ膜を作製した.Zn/(Zn+In)組成比が0.5,基板温度250℃でZn2In2O5のホモロガス結晶ガ得られ,300μΩcmの抵抗率であった.組成比の増大で,Zn3In2O6が得られたが,抵抗率の増大を示した.組成比が0.3,基板温度150℃においてアモルファス膜が作製され,抵抗率もやはり300μΩcmを示した.キャリア密度は0.5-1.0x10^21cm-3の大きな値を示した.これはZn原子がZnOになるとき,In2O3から酸素を奪うため,このような高密度の酸素欠損が生じたと考えられる.

キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 Vacuum([Elsevier Science])
(resolved by 0042-207X)
ISSN: 0042-207X (pISSN: 0042-207X, eISSN: 1879-2715)
Title: Vacuum
Title(ISO): Vacuum
Publisher: Elsevier Ltd.
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
(resolved by 1879-2715)
ISSN: 0042-207X (pISSN: 0042-207X, eISSN: 1879-2715)
Title: Vacuum
Title(ISO): Vacuum
Publisher: Elsevier Ltd.
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
ISSN 任意
必須 59
必須
必須 546 552
都市 任意
年月日 必須 2000年 1月 1日
URL 任意
DOI 任意 10.1016/S0042-207X(00)00314-6    (→Scopusで検索)
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意 000165157100024
Scopus 任意 2-s2.0-0000845773
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意