徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: [富永 喜久雄]/Murayama Kazutaka/Sato Yoshifumi/Mori Ichiro/Energetic oxygen particles in the reactive sputtering of Zn targets in Ar/O2 atmosphere/[Thin Solid Films]

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EID
16733
EOID
707207
Map
0
LastModified
2013年8月27日(火) 11:39:59
Operator
三木 ちひろ
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TRUE
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0
Owner
[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]
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種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Murayama Kazutaka
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Sato Yoshifumi
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. (英) Mori Ichiro
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Energetic oxygen particles in the reactive sputtering of Zn targets in Ar/O2 atmosphere

副題 任意
要約 任意

(日) プレーナマグネトロンスパッタ法で生じた高速酸素原子を飛行時間法で観測し,そのエネルギーと粒子束を評価した.Zn ターゲットをAr/O2混合ガス中で,ガス圧を5mTorr一定の条件でスパッタしたときの,高速酸素粒子束とZnターゲット表面での酸化の度合いはいずれも酸素分圧の上昇とともに増す.この結果は高速酸素や負イオンがZnターゲットの酸化領域から精製していることを示す.また,論文ではこの事実に基づいて,校則酸素の酸素分圧依存性をあらわす式を導いた.

キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 Thin Solid Films([Elsevier])
(resolved by 0040-6090)
ISSN: 0040-6090 (pISSN: 0040-6090)
Title: Thin solid films
Title(ISO): Thin Solid Films
Publisher: Elsevier Sequoia
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
ISSN 任意
必須 343-344
必須 ---
必須 81 84
都市 任意
年月日 必須 1999年 1月 1日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意